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來源: 發布時間:2022-03-30

靶材拋光裝置還包括:防護層,所述防護層位于所述固定板與所述拋光片之間。防護層為彈性材料。靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設置于所述固定板的外表面上。把手的數量為兩個,其中一個所述把手設置于所述固定板的頂部,另一個所述把手設置于所述固定板的側壁上。與現有技術相比,本發明的技術方案具有以下優點:提供的靶材拋光裝置的技術方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板;拋光片,位于所述固定板內側面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經圓角處理的側棱進行拋光,位于側板上的所述拋光片表面適于對靶材側壁表面進行拋光。所述靶材拋光裝置能夠對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱同時進行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進行拋光的作業效率。金屬化合物的二次電子發射系數比金屬的高,靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物。河南釓靶材

本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.78mm;所述靶材表面的硬度為26hv;其中,所述靶材的比較大厚度為22mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為4°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環形;所述靶材的材質包括鈦;所述背板的材質包括鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。對比例1與實施例1的區別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.5mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例2與實施例1的區別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。Nb靶材定制靶材太薄、靶材太貴的情況等。 但下列情況綁定有弊端。

防護層為彈性材料,所述防護層的質地軟,能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖,避免所述固定板觸撞靶材導致靶材受損。具體實施方式:為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更為明顯易懂,下面結合附圖對本發明的具體實施例做詳細的說明。一種靶材拋光裝置100,包括:固定板200,所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側的側板220;拋光片300,位于所述固定板200內側面上,其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。固定板200能夠起到支架的作用,以固定支撐所述拋光片300,便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。頂板210呈矩形狀,所述側板220也呈矩形狀。固定板200內側面彎折處形成夾角。具體的,所述側板220表面垂直于所述頂板210表面,即所述夾角為90°。在其他實施例中,所述夾角還可以大于90°且小于180°。

高純金屬的純度分析原則: 高純金屬材料的純度一般用減量法衡量。減量計算的雜質元素主要是金屬雜質,不包括C ,O ,N ,H等間隙元素,但是間隙元素的含量也是重要的衡量指標,一般單獨提出。依應用背景的不同,要求進行分析的雜質元素種類少則十幾種, 多則70多種。簡單的說高純金屬是幾個N(九) 并不能真正的表達其純度, 只有提供雜質元素和間隙元素的種類及其含量才能明確表達高純金屬的純度水平。 高純金屬的純度檢測應以實際應用需要作為主要標準,例如目前工業電解鈷的純度一般接99.99 % ,而且檢測的雜質元素種類較少。我國電解鈷的有色金屬行業標準(YS/ T25522000)要求分析C ,S ,Mn , Fe, Ni , Cu , As , Pb , Zn , Si , Cd , Mg , P , Al , Sn ,Sb , Bi等17 個雜質元素, Co9998電解鈷的雜質總量不超過0.02,但這仍然不能滿足功能薄膜材料材料的要求[2]。


靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。

濺射靶材的制備方法有哪些?濺射靶材是指通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜設備在適當工藝條件下濺射沉積在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。濺射靶材普遍應用于裝飾、工模具、玻璃、電子器件、半導體、磁記錄、平面顯示、太陽能電池等眾多領域,不同領域需要的靶材各不相同。濺射靶材的制備:濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類,除嚴格控制材料純度、致密度、晶粒度以及結晶取向之外,對熱處理條件、后續加工方法等亦需加以嚴格控制。粉末冶金法:粉末冶金法制備靶材時,其關鍵在于:(1)選擇高純、超細粉末作為原料;(2)選擇能實現快速致密化的成形燒結技術,以保證靶材的低孔隙率,并控制晶粒度;(3)制備過程嚴格控制雜質元素的引入。由金屬靶面通過反應濺射工藝形成化合物的過程中,化合物是在哪里形成的呢?Nb靶材定制

壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當的距離,調整距離即可。河南釓靶材

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。九.什么是靶材綁定主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。一.靶材綁定的定義靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導電膠。1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;


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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。

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