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安徽GST靶材

來源: 發布時間:2022-04-16

純度:純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6”、8”發展到12”,而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。雜質含量:靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。關掉機器,把設備的濺射靶卸下來,靶附近的零件仔細清洗一下。安徽GST靶材

頂板210與所述側板220為一體成型。在其他實施例中,所述頂板與所述側板還可以采用焊接、螺接或緊密配合方式固定連接。固定板200的材料為合金,具體的,所述固定板200的材料為不銹鋼。在其他實施例中,所述固定板的材料還可以為金屬。固定板200的厚度為10mm~15mm。若所述固定板200的厚度過大,使得所述固定板200的重量過大,不便于使用,影響操作的靈活性。若所述固定板200的厚度過小,導致所述固定板200的強度和韌性較差,影響所述靶材拋光裝置100的使用壽命。拋光片300表面與靶材側壁表面及經圓角處理的側棱相匹配。所述拋光片300表面具有磨砂顆粒,用于增加所述拋光片300與靶材表面間的摩擦力,以提高拋光效率。所述拋光片300為砂紙。北京鈷鐵靶材密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

真空鍍膜設備替代電鍍設備是發展的必然     2012年全國化學電鍍產生的污水和重金屬排放量達到3.5億噸,固體廢物達到4.1萬噸,酸性氣體達到2.3萬立方米,由于真空鍍膜設備逐漸應用到市場上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個不可忽視的數據,為處理這大量的污染,大部分企業已投放了共5868.1億元在污水治理方面,464.8億元在固體廢物治理方面,974.9億元在酸性氣體治理方面,但仍然有部分企業沒有完善治理措施,造成大量污染。         使用真空鍍膜設備進行電鍍可以有效改善污染情況,它不像化學電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進行鍍膜,而是在真空環境下利用蒸發或濺射方式進行鍍膜,完全沒有污染產生,是一種綠色低碳、符合可持續發展戰略的產業,已經越來越多企業淘汰了舊方式化學電鍍而轉用真空電鍍,但還有很多企業沒意識到環保的重要性,不懂得綠色生產其實是為自己和后代創建美好生存環境的道理。         綠色環保產業是必然的發展趨勢,造成嚴重污染的化學電鍍終會退出歷史舞臺,取而代之的是真空電鍍,利用真空鍍膜機鍍膜成為主流是不可質疑的。

靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個側壁表面630。靶材600具有十二條側棱601,各條側棱601均經過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側棱601位置較為銳利。如果使用側棱未經圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側棱601位置容易發生前列放電的現象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質量。圓角處理使得靶材側棱601鈍化,有助于防止前列放電現象的發生。靶面金屬化合物的形成。

規格說明:產品規格靶材可定制產品數量1000包裝說明雙層真空包裝價格說明1000◆產品說明:高純靶,靶靶材鈀顆粒,鈀粉,鈀靶材鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片。原子量:106.4密度(20℃)/g?cm-3:12.02熔點/℃:1552蒸發溫度/℃:1460沸點/℃:3140汽化溫度/℃:1317比電阻率(0℃)/uΩ?cm:10.6熔化熱/kJ?mol-1:16.7汽化熱/kJ?mol-1:361.7熱導率(0~100℃)/J?(cm?s?℃)-1:0.753電阻溫度系外觀:銀白色蒸發源(絲、片):W(鍍Al2O3)坩堝:Al2O3性質:與難溶金屬形成合金,閃爍蒸發,在EB內激烈飛濺,鈀是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片?;瘜W性質不活潑,常溫下在空氣和潮濕環境中穩定,加熱至800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。當濺射靶被化合物全部覆蓋的時候,靶完全中毒,在靶面上沉積一層化合金屬膜。浙江二氧化釩靶材

純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。安徽GST靶材

拋光片部分310的厚度均勻。所述拋光片第三部分330的厚度均勻。位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度不均,即所述拋光片第二部分320的厚度不均。拋光片部分310的厚度與所述拋光片第三部分330的厚度相等,均為2mm~3mm。拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為分體的。在其他實施例中,所述拋光片部分、拋光片第二部分及拋光片第三部分還可以為一體成型。靶材拋光裝置100還包括:防護層400,所述防護層400位于所述固定板200與所述拋光片300之間。所述防護層400為彈性材料,能夠在所述固定板200及靶材間提供緩沖,避免所述固定板200觸撞靶材導致靶材受損。本實施例中,所述防護層400的厚度為30mm~35mm。若所述防護層400的厚度過小,所述防護層400起到的緩沖效果差,難以有效的保護靶材。若所述防護層400的厚度過大,使得所述防護層400的體積過大,進而造成所述靶材拋光裝置100的體積過大,對操作者使用所述靶材拋光裝置100帶來不必要的困難。安徽GST靶材

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。

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