（2）金屬靶材與化合物靶材本來濺射速率就不一樣，一般情況下金屬的濺射系數要比化合物的濺射系數高，所以靶中毒后濺射速率低。（3）反應濺射氣體的濺射效率本來就比惰性氣體的濺射效率低，所以反應氣體比例增加后，綜合濺射速率降低。5、靶中毒的解決辦法（1）采用中頻電源或射頻電源。（2）采用閉環控制反應氣體的通入量。（3）采用孿生靶（4）控制鍍膜模式的變換：在鍍膜前，采集靶中毒的遲滯效應曲線，使進氣流量控制在產生靶中毒的前沿，確保工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。濺射過程不影響靶材合金、混合材質的比例和性質。南京氮化鈦靶

磁控濺射離子鍍   (1)在基體和工件上是否施加(直流或脈沖)負偏壓，利用負偏壓對離子的吸引和加速作用，是離子鍍與其它鍍膜類型的一個主要區別。蒸發鍍時基體和工件上加有負偏壓就是蒸發離子鍍 ;多弧鍍時基體和工件上加有負偏壓就是多弧離子鍍;磁控濺射時基體和工件上加有負偏壓就是磁控濺射離子鍍，這是磁控濺射離子鍍技術的一個重要特點。   (2)磁控濺射離子鍍是把磁控濺射和離子鍍結合起來的技術。在同一個真空腔體內既可實現氬離子對磁控靶材的穩定濺射，又實現了高能靶材離子在基片負偏壓作用下到達基片進行轟擊、濺射、注入及沉積作用過程。整個鍍膜過程都存在離子對基片和工件表面的轟擊，可有效基片和工件表面的氣體和污物;使成膜過程中，膜層表面始終保持清潔狀態。   (3) 磁控濺射離子鍍可以在膜-基界面上形成明顯的混合過渡層(偽擴散層)，提高膜層附著強度;可以使膜層與工件形成金屬間化合物和固熔體，實現材料表面合金化，甚至出現新的晶相結構。   (4)磁控濺射離子鍍形成膜層的膜基結合力好、膜層的繞鍍性好、膜層組織可控參數多、膜層粒子總體能量高，容易進行反應沉積，可以在較低溫度下獲得化合物膜層。南京氮化鈦靶所以在安裝靶材時需要對陰極冷卻水槽進行檢查和清理，確保冷卻水循環的順暢和進出水口不會被堵塞。

一．靶材磁控濺射的原理是什么？磁控濺射原理：在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場，濺射靶材在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣)，永久磁鐵在靶材料表面形成250～350高斯的磁場，同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下，Ar氣電離成正離子和電子，靶上加有一定的負高壓，從靶極發出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大，在陰極附近形成高密度的等離子體，Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面，以很高的速度轟擊靶面，使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種：直流濺射和射頻濺射，其中直流濺射設備原理簡單，在濺射金屬時，其速率也快。

濺射靶材的制備濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類，除嚴格控制材料純度、致密度、晶粒度以及結晶取向之外，對熱處理條件、后續加工方法等亦需加以嚴格控制。一、粉末冶金法粉末冶金法制備靶材時，其關鍵在于：(1)選擇高純、超細粉末作為原料；(2)選擇能實現快速致密化的成形燒結技術，以保證靶材的低孔隙率，并控制晶粒度；(3)制備過程嚴格控制雜質元素的引入。二、熔融鑄造法熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。為保證鑄錠中雜質元素含量盡可能低，通常其冶煉和澆注在真空或保護性氣氛下進行。但鑄造過程中，材料組織內部難免存在一定的孔隙率，這些孔隙會導致濺射過程中的微粒飛濺，從而影響濺射薄膜的質量。為此，需要后續熱加工和熱處理工藝降低其孔隙率。

而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

    簡單地說，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，通過更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。目前，（高純度）濺射靶材按照化學成分不同可分為：①金屬靶材（純金屬鋁、鈦、銅、鉭等）②合金靶材（鎳鉻合金、鎳鈷合金等）③陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。按開關不同可分為：長靶、方靶、圓靶。按應用領域不同可分為：半導體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材、工具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。濺射：即集成電路制造過程中要反復用到的工藝；靶材：就是濺射工藝中必不可少的重要原材料。那么，不同應用領域，對材料的選擇及性能要求也有一定差異。 再用手轉緊對角線上的另外一顆鏍栓，如此重復直到安裝上所有鏍栓后，再用工具收緊。合肥鋇靶

在直流脈沖、中頻濺射過程中，離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮，所以一般在濺射的時候進行物理拋光。南京氮化鈦靶

氧化物鍍膜技術在真空鍍鋁膜中的應用 近年來，迅速發展微波加熱技術給微波食品包裝及需經微波殺 菌消毒的一類商品的包裝提出了新的要求，即包裝材料不要具有優良的阻隔性能，而且還要耐高溫、微波透過性好等特性，傳統的包裝材料很難具備這些特點。因此，近年來日本、德國、美國等國家大力研究開發新型的高阻隔性包裝材料——SiOX和其它金屬氧化物鍍膜復合材料。這類材料除了阻隔性能可以與鋁塑復合材料相媲美外，同時還具有微波透過性好、耐高溫、透明、受環境溫度濕度影響小等優點。 非金屬鍍膜可采用蒸鍍原料可采用SiOX、SiO2，也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等，其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物鍍膜的蒸發源有電阻式和電子束兩種，電阻式蒸發源以電阻通過發熱的原理來加熱蒸鍍原料，高加熱溫度可達1700℃。電子束蒸發源利用加速電子碰撞蒸鍍原料而使其蒸發，蒸發源配有電子，在材料局部位置上而形成加熱束斑，束斑溫度可達3000～6000℃，能量密度高可達20KW/cm2。 實驗表明只有PP、PET、PA等材料才能較適合氧化物鍍膜加工。南京氮化鈦靶

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司，濺射靶材充分借鑒國外的先進技術，并通過與國內外**研發機構合作，整合各行業資源優勢，生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬，合金，陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累，已經擁有：真空熱壓，冷壓燒結，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺，冷壓燒結爐一臺，真空熔煉設備兩臺，等靜壓設備一臺，等離子噴涂兩套，綁定平臺兩套，各類機加工設備七臺，檢驗設備若干，確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承：“一切以客戶的需求為導向，客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。