靶材拋光裝置還包括:防護層,所述防護層位于所述固定板與所述拋光片之間。防護層為彈性材料。靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設置于所述固定板的外表面上。把手的數量為兩個,其中一個所述把手設置于所述固定板的頂部,另一個所述把手設置于所述固定板的側壁上。與現有技術相比,本發明的技術方案具有以下優點:提供的靶材拋光裝置的技術方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板;拋光片,位于所述固定板內側面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經圓角處理的側棱進行拋光,位于側板上的所述拋光片表面適于對靶材側壁表面進行拋光。所述靶材拋光裝置能夠對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱同時進行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進行拋光的作業效率。導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。揚州鉍靶材工廠
靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個側壁表面630。靶材600具有十二條側棱601,各條側棱601均經過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側棱601位置較為銳利。如果使用側棱未經圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側棱601位置容易發生前列放電的現象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質量。圓角處理使得靶材側棱601鈍化,有助于防止前列放電現象的發生。南通釕酸鍶靶材貼合選擇高純、超細粉末作為原料。
與實施例1的區別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例3與實施例1的區別 在于所述靶材表面的硬度為10hv;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例4與實施例1的區別 在于所述靶材表面的硬度為35hv;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。通過上述實施例和對比例的結果可知,本發明中,通過調整靶材表面的高度差及硬度,保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。申請人聲明,本發明通過上述實施例來說明本發明的詳細結構特征,但本發明并不局限于上述詳細結構特征,即不意味著本發明必須依賴上述詳細結構特征才能實施。所屬技術領域的技術人員應該明了,對本發明的任何改進,對本發明所選用部件的等效替換以及輔助部件的增加、具體方式的選擇等,均落在本發明的保護范圍和公開范圍之內。
與現有技術相比,本發明的技術方案具有以下優點:本發明提供的靶材拋光裝置的技術方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板;拋光片,位于所述固定板內側面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經圓角處理的側棱進行拋光,位于側板上的所述拋光片表面適于對靶材側壁表面進行拋光。所述靶材拋光裝置能夠對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱同時進行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進行拋光的作業效率。可選方案中,所述防護層為彈性材料,所述防護層的質地軟,能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖,避免所述固定板觸撞靶材導致靶材受損。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。
氧化物鍍膜技術在真空鍍鋁膜中的應用 近年來,迅速發展微波加熱技術給微波食品包裝及需經微波殺 菌消毒的一類商品的包裝提出了新的要求,即包裝材料不要具有優良的阻隔性能,而且還要耐高溫、微波透過性好等特性,傳統的包裝材料很難具備這些特點。因此,近年來日本、德國、美國等國家大力研究開發新型的高阻隔性包裝材料——SiOX和其它金屬氧化物鍍膜復合材料。這類材料除了阻隔性能可以與鋁塑復合材料相媲美外,同時還具有微波透過性好、耐高溫、透明、受環境溫度濕度影響小等優點。 非金屬鍍膜可采用蒸鍍原料可采用SiOX、SiO2,也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等,其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物鍍膜的蒸發源有電阻式和電子束兩種,電阻式蒸發源以電阻通過發熱的原理來加熱蒸鍍原料,高加熱溫度可達1700℃。電子束蒸發源利用加速電子碰撞蒸鍍原料而使其蒸發,蒸發源配有電子,在材料局部位置上而形成加熱束斑,束斑溫度可達3000~6000℃,能量密度高可達20KW/cm2。 實驗表明只有PP、PET、PA等材料才能較適合氧化物鍍膜加工。一般情況下金屬的濺射系數要比化合物的濺射系數高,所以靶中毒后濺射速率低。南通釕酸鍶靶材貼合
濺射出靶材的原子、原子團、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團沉積到基材上形成薄膜。揚州鉍靶材工廠
國統局數據顯示,2019年上半年儀器儀表大行業規模以上企業4927個,營收規模4002億元,營收同比增長7.57%;收入總額為361億元,同比增長2.87%,比主營收入低4.70個百分點;目前,磁控濺射靶材,蒸發材料,背板,靶材綁定等產品的產量居世界前列,實驗分析儀器等中產品的市場占比不斷上升,行業技術上總體已達到的中等國際水平,少數產品接近或達到當前較高國際水平。金屬靶材,合金靶材,陶瓷靶材,鍍膜材料的研發銷售(以上項目均不含危險品);鍍膜技術的研究,開發;鍍膜生產專用設備,其他機械設備,電子產品,五金產品的銷售;自營和代理各類商品以及技術的進出口業務,但國家限定企業經營或禁止進出口的商品和技術除外。產品普遍運用于工業、農業、交通、科技、環保、國防、文教衛生、大家生活等各個領域,在旺盛市場需求的帶動下和我國宏觀調控政策的引導下,我國儀器儀表行業的發展有了長足的進步空間。儀器儀表在工業發展中具有重要作用,這也使得儀器儀表得到快讀發展。各行各業對儀器儀表的市場需求也在不斷提升,銷售企業正在發展中尋求技術創新和質量提升。儀器儀表的質量、性能關系到工業安全,必須重視。揚州鉍靶材工廠
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外知名研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列高品質濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供高品質的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。