熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優勢一：

熱紅外顯微鏡（Thermal emmi ）能夠檢測到極其微弱的熱輻射和光發射信號，其靈敏度通常可以達到微瓦甚至納瓦級別。同時，它還具有高分辨率的特點，能夠分辨出微小的熱點區域，分辨率可以達到微米甚至納米級別。具備極高的探測靈敏度，能夠捕捉微瓦級甚至納瓦級的熱輻射與光發射信號，適用于識別早期故障及微小異常。同時，該技術具有優異的空間分辨能力，能夠準確定位尺寸微小的熱點區域，其分辨率可達微米級，部分系統也已經可實現納米級識別。通過結合熱圖像與光發射信號分析，熱紅外顯微鏡為工程師提供了精細、直觀的診斷工具，大幅提升了故障排查與性能評估的效率和準確性。 熱紅外顯微鏡的動態功耗分析功能，同步記錄 100MHz 高頻信號下的熱響應曲線。制冷熱紅外顯微鏡平臺

在失效分析中，零成本簡單且常用的三個方法基于“觀察-驗證-定位”的基本邏輯，無需復雜設備即可快速縮小失效原因范圍：

1.外觀檢查法（VisualInspection）

2.功能復現與對比法（FunctionReproduction&Comparison）

3.導通/通路檢查法（ContinuityCheck）

但當失效分析需要進階到微觀熱行為、隱性感官缺陷或材料/結構內部異常的層面時，熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 能成為關鍵工具，與基礎方法結合形成更深度的分析邏輯。在進階失效分析中，熱紅外顯微鏡可捕捉微觀熱分布，鎖定電子元件微區過熱（如虛焊、短路）、材料內部缺陷（如裂紋、氣泡）引發的隱性熱異常，結合動態熱演化記錄，與基礎方法協同，從 “不可見” 熱信號中定位失效根因。 直銷熱紅外顯微鏡范圍熱紅外顯微鏡通過分析熱輻射分布，評估芯片散熱設計的合理性 。

在微觀熱信號檢測領域，熱發射顯微鏡作為經典失效分析工具，為半導體與材料研究提供了基礎支撐。致晟光電的熱紅外顯微鏡，并非簡單的名稱更迭，而是由技術工程師團隊在傳統熱發射顯微鏡原理上，歷經多代技術創新與功能迭代逐步演變進化而來。這一過程中，團隊針對傳統設備在視野局限、信號靈敏度、分析尺度等方面的痛點，通過光學系統重構、信號處理算法升級、檢測維度拓展等創新，重新定義、形成了更適應現代微觀熱分析需求的技術體系。

通過大量海量熱圖像數據，催生出更智能的數據分析手段。借助深度學習算法，構建熱圖像識別模型，可快速準確地從復雜熱分布中識別出特定熱異常模式。如在集成電路失效分析中，模型能自動比對正常與異常芯片的熱圖像，定位短路、斷路等故障點，有效縮短分析時間。在數據處理軟件中集成熱傳導數值模擬功能，結合實驗測得的熱數據，反演材料內部熱導率、比熱容等參數，從熱傳導理論層面深入解析熱現象，為材料熱性能研究與器件熱設計提供量化指導。快速鎖定 PCB 板上因線路搭接、元件損壞導致的熱點，尤其是隱藏在多層板內部的短路點。

當電子設備中的某個元件發生故障或異常時，常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器，能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯激光器等先進技術，或其他高性能紅外傳感方案，具備寬溫區、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細探測與分析，熱紅外顯微鏡能夠將電子設備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現，直觀展現熱點區域的位置、尺寸及溫度變化趨勢，從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點，實現高效可靠的故障排查。熱紅外顯微鏡對電子元件進行無損熱檢測，保障元件完整性 。鎖相熱紅外顯微鏡探測器

熱紅外顯微鏡可模擬器件實際工作溫度測試，為產品性能評估提供真實有效數據。制冷熱紅外顯微鏡平臺

致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態鎖相熱分析系統，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術，通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度，并結合軟件算法優化信噪比，實現顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器，測溫靈敏度達0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景，包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。制冷熱紅外顯微鏡平臺

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