致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb（銦銻）探測器，用于中波紅外波段（3–5 μm）的熱輻射信號捕捉。InSb材料具有優異的光電轉換效率和極低的本征噪聲，在制冷條件下可實現高達nW級的熱靈敏度和優于20mK的溫度分辨率，適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統中的應用，提升了空間分辨率（可達微米量級）與溫度響應線性度，使其能夠對半導體器件、微電子系統中的局部發熱缺陷、熱點遷移和瞬態熱行為進行精細刻畫。配合致晟光電自主開發的高數值孔徑光學系統與穩態熱控平臺，InSb探測器可在多物理場耦合背景下實現高時空分辨的熱場成像，是先進電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評價中的關鍵。
半導體芯片內部缺陷定位是工藝優化與失效分析的關鍵技術基礎。科研用熱紅外顯微鏡選購指南

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）技術，作為半導體失效分析領域的關鍵手段，通過捕捉器件內部產生的熱輻射，實現失效點的精細定位。它憑借對微觀熱信號的高靈敏度探測，成為解析半導體故障的 “火眼金睛”。然而，隨著半導體技術不斷升級，器件正朝著超精細圖案制程與低供電電壓方向快速演進：線寬進入納米級，供電電壓降至 1V 以下。這使得失效點（如微小短路、漏電流區域）產生的熱量急劇減少，其輻射的紅外線信號強度降至傳統檢測閾值邊緣，疊加芯片復雜結構的背景輻射干擾，信號提取難度呈指數級上升。
鎖相熱紅外顯微鏡聯系人熱紅外顯微鏡助力科研人員研究新型材料的熱穩定性與熱性能 。

致晟光電自主研發的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列，是電子工業中不可或缺的精密檢測工具，在半導體芯片、先進封裝技術、功率電子器件以及印刷電路板（PCB）等領域的失效分析中發揮著舉足輕重的作用。

該設備搭載——實時瞬態鎖相紅外熱分析（RTTLIT）系統，并集成高靈敏度紅外相機、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術組件，賦予其三大特性：超凡靈敏度與亞微米級檢測精度，可捕捉微弱熱信號與光子發射；高精度溫度測量能力（鎖相靈敏度達0.001℃），支持動態功耗分析；無損故障定位特性，無需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術集成優勢，ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點，更能通過失效分析優化產品質量與可靠性，為半導體制造、先進封裝及電子器件研發提供關鍵技術支撐。

致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態鎖相熱分析系統，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術，通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度，并結合軟件算法優化信噪比，實現顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器，測溫靈敏度達0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景，包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。評估 PCB 走線布局、過孔設計對熱分布的影響，指導散熱片、導熱膠的選型與 placement。

RTTLITP20 熱紅外顯微鏡憑借多元光學物鏡配置，構建從宏觀到納米級的全尺度熱分析能力，靈活適配多樣檢測需求。Micro廣角鏡頭可快速覆蓋大尺寸樣品整體熱分布，如整塊電路板、大型模組的散熱趨勢，高效完成初步篩查；0.13~0.3x變焦鏡頭通過連續倍率調節，適配芯片封裝體、傳感器陣列等中等尺度器件熱分析，兼顧整體熱場與局部細節；0.65X～0.75X變焦鏡頭提升分辨率，解析芯片內部功能單元熱交互，助力定位封裝散熱瓶頸；3x～4x變焦鏡頭深入微米級結構，呈現晶體管陣列、引線鍵合點等細微部位熱分布；8X～13X變焦鏡頭聚焦納米尺度，捕捉微小短路點、漏電流區域等納米級熱點的微弱熱信號，滿足先進制程半導體高精度分析需求。

多段變焦與固定倍率結合的設計，實現宏觀到微觀熱分析平滑切換，無需頻繁更換配件，大幅提升半導體失效分析、新材料熱特性研究等領域的檢測效率與精細度。 監測微流控芯片、生物傳感器的局部熱反應，研究生物分子相互作用的熱效應。紅外光譜熱紅外顯微鏡品牌

熱紅外顯微鏡的 AI 智能分析模塊，自動標記異常熱斑并匹配歷史失效數據庫。科研用熱紅外顯微鏡選購指南

在失效分析中，零成本簡單且常用的三個方法基于“觀察-驗證-定位”的基本邏輯，無需復雜設備即可快速縮小失效原因范圍：

1.外觀檢查法（VisualInspection）

2.功能復現與對比法（FunctionReproduction&Comparison）

3.導通/通路檢查法（ContinuityCheck）

但當失效分析需要進階到微觀熱行為、隱性感官缺陷或材料/結構內部異常的層面時，熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 能成為關鍵工具，與基礎方法結合形成更深度的分析邏輯。在進階失效分析中，熱紅外顯微鏡可捕捉微觀熱分布，鎖定電子元件微區過熱（如虛焊、短路）、材料內部缺陷（如裂紋、氣泡）引發的隱性熱異常，結合動態熱演化記錄，與基礎方法協同，從 “不可見” 熱信號中定位失效根因。 科研用熱紅外顯微鏡選購指南