我司自主研發(fā)的高精密控溫技術，控制輸出精度達 0.1%，能精細掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔，滿足嚴苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異，可達百級、十級、一級。關鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內部溫度均勻性小于 16mK/m，為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面，8 小時內穩(wěn)定性可達 ±0.5%；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa，設備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時，助力長時間實驗與制造。在潔凈度上，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實驗結果準確可靠，又保障精密儀器正常工作與使用壽命，推動科研與生產進步。高精密環(huán)控設備可移動，容易維護和擴展。0.05℃環(huán)境機組

電子設備制造，如智能手機、平板電腦、高性能計算機等的生產過程，對生產環(huán)境的要求日益嚴苛。精密環(huán)控柜在其中發(fā)揮著至關重要的作用，確保產品質量和性能達到標準。以智能手機芯片的封裝環(huán)節(jié)為例，芯片封裝需要將微小的芯片與基板精確連接，并封裝在保護外殼內。這一過程中，溫度的精確控制對芯片與基板之間的焊接質量至關重要。溫度過高或過低都可能導致焊接點虛焊、短路等問題，影響芯片的電氣性能和可靠性。精密環(huán)控柜能夠將溫度波動控制在極小范圍內，保證焊接過程的穩(wěn)定性，提高芯片封裝的良品率。這時候就不得不在生產過程中配置環(huán)境控制設備，控制溫度波動。真空鍍膜機環(huán)境潔凈棚為滿足多樣化需求，箱體采用高質量鈑金材質，可按需定制外觀顏色。

在半導體芯片制造這一復雜且精細的領域，從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步，都對環(huán)境條件有著近乎嚴苛的要求，而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產的關鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié)，光刻機對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動，都可能使光刻機內部的精密光學元件因熱脹冷縮產生細微形變，導致光路偏差，使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制，將溫度波動控制在極小范圍，確保光刻機高精度運行，讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn)。

我司憑借深厚的技術積累，自主研發(fā)出高精密控溫技術，精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實現(xiàn)百級、十級、一級。關鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性，以及均勻性小于 16mK/m 的內部溫度規(guī)格，為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項目，打造了近乎完美的溫場環(huán)境，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時，設備內部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h，壓力穩(wěn)定性可達+/-3Pa，長達 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面，實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，確保實驗結果的準確性與可靠性，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。精密環(huán)控柜為我司自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產品。

自動安全保護系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障，為設備的穩(wěn)定運行和用戶的使用安全提供防護。故障自動保護程序時刻監(jiān)控設備的運行狀態(tài)，一旦檢測到異常情況，如溫度過高、壓力過大、電氣故障等，系統(tǒng)會立即啟動相應的保護措施，停止設備的危險運行，避免設備損壞或引發(fā)安全事故，實現(xiàn)全天候無憂運行。同時，故障實時聲光報警提醒，能及時引起用戶的注意。用戶可以根據(jù)報警信息迅速判斷故障類型和位置，及時采取應對措施。此外，遠程協(xié)助故障處理功能，使用戶能夠通過網(wǎng)絡與專業(yè)技術人員取得聯(lián)系，技術人員可以遠程查看設備的運行數(shù)據(jù)和故障信息，指導用戶進行故障排查和修復，縮短了故障處理時間，提高了設備的可用性。高精密環(huán)境控制設備由主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)等組成。江蘇光刻機環(huán)境

制冷單元內部采用高效隔音材質，進一步降低設備噪音，噪音<45dB。0.05℃環(huán)境機組

在航天器電子元器件的制造和裝配過程中，精密環(huán)控柜的作用同樣關鍵。電子元器件對靜電、潔凈度以及溫濕度都十分敏感。靜電可能會擊穿電子元件，導致其損壞；而不合適的溫濕度條件會影響電子元件的性能和可靠性。精密環(huán)控柜通過配備高效的靜電消除裝置以及精確的溫濕度控制系統(tǒng)，為電子元器件的生產提供了一個穩(wěn)定、潔凈且無靜電干擾的環(huán)境。這不僅保證了電子元器件在制造過程中的質量，也提高了其在航天器復雜空間環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性，為我國航空航天事業(yè)的蓬勃發(fā)展奠定了堅實基礎。0.05℃環(huán)境機組