凈化車間安裝要求：塑料板材或卷材面層鋪貼前應預先按規格大小、厚薄分類，板材或卷材與地面之間應滿涂粘接劑，表面趕平，不得漏涂或殘存空氣。密封膠嵌固前，應將基槽內的雜質、油污剔除干凈，并保持表面干燥。凈化車間施工臨時設置的設備入口不用時應封閉，防止塵土雜物進入。施工現場應保證良好的通風和照明。對于改建工程，應查明和切斷原有電源及易燃、易爆和有毒氣體管線后方可施工。對工藝生產過程中使用的腐蝕性液體應有安全防護措施。在做卷材面層或涂料面層時應考慮與垂直壁板交界處的密封。南京微電子凈化車間安裝

凈化車間工程電氣安裝施工技術方案：配電柜安裝：配備滿足電氣工程施工需要的施工機具、檢測設備，作好材料、設備的進場準備。配電柜基礎制作之前對土建施工的基礎及預埋件進行驗收，待其達到要求后，再根據現場情況和配電柜尺寸用槽鋼加工配電柜基礎，并進行安裝，安裝時先進行找平找正，然后將其與土建的預埋件焊接，同時與接地網在不同的兩點處相連。配電柜安裝前，應會同業主、監理進行開箱檢查。配電柜安裝時將其與基礎固定，并且柜體之間也需要固定牢固，其水平度、垂直度符合規范規定。南京微電子凈化車間安裝新風柜新風要占總風量的30%。這節省了運行成本。

凈化車間安裝要求：凈化車間施工必須與各專業工種間制定嚴格的施工程序，一般依次為：留洞打底、各專業安裝、內門窗安裝、修補洞口及周邊、基層打底、飾面抹灰和罩面板工程、嵌縫處理、油漆刷漿工程和裱糊工程。在凈化車間施工過程中，必須隨時清掃灰塵，對隱蔽空間（如吊頂和夾墻內部等）還應做好清掃記錄。應保護已完成的裝飾工程表面，不得因撞擊、敲打、多水作業等造成板材凹陷、暗裂和表面裝飾的污染。對已安裝高效過濾器的房間，不得進行有粉塵的作業。

凈化車間裝修工程吊頂安裝注意事項：施工程序合理：先清理衛生后安裝，先上部吊裝后中間安裝，先大設備進場后隔斷封閉，先凈化安裝后工藝安裝。凈化車間完成安裝后進行地面處理，先調整后檢測。空調管路安裝與工藝管路安裝同時進行，凈化車間工程與交貨空調設備同時進行，潔凈系統工程各專業同時試運轉、同時調整檢測;土建收尾工程與潔凈安裝部分同時進行。管道吊桿一定要平直、不彎曲。風管吊上后，吊桿螺絲要收緊，使每根吊桿都平均受力。有彎頭的風管，吊桿位置一定要在法蘭旁邊。風管要設置固定支架，出風口一定要吊在機組出風彎頭內側。風管與部件支、吊架的預埋件、射釘或膨脹螺栓的位置應正確，牢固可靠，埋入部分應去除油污，并不得涂漆。

凈化車間潔凈門窗的安裝：潔凈室要求室內墻面盡量減少直角、起伏，使門窗隱形，墻面平齊。干凈的門窗應按圖紙要求的尺寸和開啟方向固定。門框與彩鋼復合板進行平面設計高度差小于1毫米，門框對角線產生偏差影響小于1.5毫米，門框撓度分析偏差不得小于1毫米，門框水平存在偏差可以小于1毫米，潔凈窗玻璃與彩鋼復合板平面結構高度差小于1毫米。門可安裝開生靈活，無卡、擦門框及現象，門間隙分布2~3mm均勻，門扇與密封條產品之間無間隙，門鎖系統開啟，無松動、歪斜或現象。潔凈管道的安裝要有坡度，隨時做好焊口的檢查，管道無死角檢查。山東半導體行業凈化車間安裝

凈化車間室內必須清潔、無積塵，并在施工安裝過程中對零部件和場地隨時清掃、擦凈。南京微電子凈化車間安裝

凈化車間安裝高效過濾器：凈化車間的高效過濾器安裝前，先對所有車間進行清掃、擦洗、除塵。對凈化空調系統要試運行12小時以上，再次對所有潔凈車間進行清掃、除塵后即刻安裝。潔凈車間的高效過濾器安裝前進行外觀檢查，不可有變形、脫落或斷裂情況，安裝后要用儀器檢測確保無泄漏現象。高效過濾器采用機械密封時，須采用厚6～8毫米的密封墊料，定位粘貼在過濾器邊框周圍，安裝后墊料的壓縮應均勻，壓縮率為25%～50%。裝配式10萬級凈化車間廠房的全部維修工廠內按統一模數及系列加工完成，適于批量生產，質量穩定，供貨迅速。10萬級凈化車間機動靈活，既適合在新建廠房配套安裝，也適宜老凈化車間廠房的凈化技術改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合，拆卸方便。南京微電子凈化車間安裝

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