激光干涉儀初步調整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續調整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。數控機床激光干涉儀品牌
激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區域始終加強,在另一些區域則始終削弱,形成穩定的強弱分布的現象。產生穩定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨特光源發出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產生穩定干涉現象。若光的振幅相等:相位角相同時,復合光強為原先的2倍,產生明條紋。當相位角相差180o(半個波長)時,復合光強為0,產生暗條紋。河南數控軸直線度激光干涉儀隨著雙頻激光干涉儀的出現,具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點。
激光干涉儀以干涉技術為關鍵,其光波可直接對米進行定義。激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應用功能模塊;向導式的操作流程;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業專屬模板定制。
激光干涉儀在立式配置下,樣品的放置,夾持和調整更方便,提高了測試效率。立式架構整機占地更小;整個干涉腔,處于穩定的框架結構下,這樣對抗振要求更低,可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應用的特殊優勢,比如高精度曲率半徑測量,大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量,要求樣品表面保持和工作狀態一致的條件下測量。工業現場測試環境下,立式配置下,樣品的夾持放置,更有效率,更加穩定。在某些應用場合,基于測試效率,樣品夾持,測試方式或精度的要求,立式配置會更有優勢。激光干涉儀使用注意事項:盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統,存在較大的零漂;同時由于空氣湍流,機床油霧,切削屑等會使光束發生偏移或波面扭曲,導致激光束強度發生變化,就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數。雙頻激光干涉儀的信號交流信號,因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量。數控機床激光干涉儀品牌
激光干涉儀可以進驅動系統的響應特性分析。數控機床激光干涉儀品牌
激光干涉儀的應用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,并給出按相關標準處理的統計結果。數控機床激光干涉儀品牌