激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器，隨著雙頻激光干涉儀的出現，因其具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點，已成為高精密機械生產中校準及補償的標準儀器，在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領域得到了普遍的應用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分，單頻激光干涉儀受環境因素影響較大，一般用于特定環境的實驗室。雙頻激光干涉儀應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強，普遍應用于各種工況下。激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器。精密激光干涉儀定制

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光，具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。杭州機床校準激光干涉儀激光干涉儀使用注意事項：如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。

激光干涉儀輔助工具的選擇：雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具：①研制低高度云臺支架；部分機床工作臺高度與地面是基本相平的，那么測量Z軸時，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面，則肯定會因為三角架本身的高度，損失測量范圍。②選擇磁性表座；磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測量時，往往側面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。

激光干涉儀的應用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。可進行滾珠絲桿的動態特性分析。

激光干涉儀引力波探測器要求激光束的橫向剖面具有純凈的TEM00模式,即應該是基模厄米-高斯模式。因為高階模式與干涉儀的不對稱性相耦合,會使輸出信號的對比度變差,而且高階模式會使法布里-珀羅腔鏡子表面光強分布改變,產生附加的熱噪聲。高階模式的振幅是不穩定的,它會使鏡子不同部位受到的輻射壓力發生變化,產生附加的輻射壓力噪聲,嚴重時會使鏡子抖動引起干涉儀鎖定狀態的不穩定。通過清模器可以清理高階橫向模式,清模器的主體部分是一個具有較高透射率的行波諧振腔,常采用由三面光學鏡組成的銳三角形結構,其優點是清模效果好,光束抖動噪聲小,能選擇偏振形式,具有高的頻率穩定性,沒有光從清模器返回激光器。合理設計三面鏡子的反射和透射系數并適當調節銳角上的鏡子,使載頻激光和兩個旁頻都能共振通過。激光干涉儀具有較高的精度和效率。機床校準激光干涉儀廠家

激光干涉儀使用注意事項：盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。精密激光干涉儀定制

當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現平衡狀態，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內，此時穩定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率，標稱波長為633nm，長期波長穩定性(真空中)優于0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。精密激光干涉儀定制