激光干涉儀以干涉技術為關鍵，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。功能廣；可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；可實現龍門機床雙軸同步測量；可實現對機床回轉軸的測量與校準。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。成都數控軸精度激光干涉儀

激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲；當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。山西激光干涉儀服務價格激光干涉儀的光源——激光。

激光干涉儀的應用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。

為什么要用雙頻激光干涉儀？單頻激光干涉儀是一種直流測量系統，存在較大的零漂；同時由于空氣湍流，機床油霧，切削屑等會使光束發生偏移或波面扭曲，導致激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數。雙頻激光干涉儀的信號交流信號，因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。激光干涉儀的維護：儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內。

激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器，隨著雙頻激光干涉儀的出現，因其具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點，已成為高精密機械生產中校準及補償的標準儀器，在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領域得到了普遍的應用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分，單頻激光干涉儀受環境因素影響較大，一般用于特定環境的實驗室。雙頻激光干涉儀應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強，普遍應用于各種工況下。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。北京位移傳感器激光干涉儀

激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用。成都數控軸精度激光干涉儀

激光干涉儀的測試質量是由鏡子本身和反沖質量組成的復合體。這個復合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質量相等的反沖質量體內做成的。鏡子和反沖質量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應的線圈固定在反沖質量體與其相對的面上。針伸入對應的線圈內,組成磁鐵-線圈驅動器。這四組磁鐵-線圈驅動器用來調整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態進行實時控制,使干涉儀穩定地保持鎖定狀態。成都數控軸精度激光干涉儀