激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數(shù)控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號，因而對于激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。激光干涉儀維護保管時需要注意哪些方面？廣州數(shù)控軸直線度激光干涉儀供應商

激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。功能廣；可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準。精密儀器激光干涉儀廠商激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。

激光干涉儀的應用：幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到比較佳精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。

激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調(diào)整精確瞄準光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾部”，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程，往往幾次即可達到準直要求。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：反射鏡、角錐棱角誤差。

激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測。精密儀器激光干涉儀廠商

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。廣州數(shù)控軸直線度激光干涉儀供應商

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光，具有強度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。廣州數(shù)控軸直線度激光干涉儀供應商