激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時(shí)透過“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾部”，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過程，往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保障。安徽正規(guī)激光干涉儀

激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，對(duì)數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。為通過受激發(fā)射線的放射達(dá)到光的放大，即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛（He-Ne）激光管，這些激光管具有633納米（nm）的波長(zhǎng)輸出。激光具有三個(gè)重要特性：激光波長(zhǎng)非常穩(wěn)定，可以滿足精密測(cè)量的要求。激光波長(zhǎng)非常短，可以用于高精度測(cè)量。激光具有干涉特性。激光干涉儀設(shè)備廠家激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)的性能檢測(cè)。

激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光干涉儀的光源——激光，具有強(qiáng)度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器。同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。可選的無線遙控傳感器比較長(zhǎng)的控制距離可到25米。

隨著高精度數(shù)控機(jī)床行業(yè)的快速發(fā)展，激光干涉儀在機(jī)床行業(yè)的使用越來越普遍，然而其在使用過程中對(duì)激光光路的準(zhǔn)直調(diào)整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題，因?yàn)榧す飧缮鎯x在使用過程中光路準(zhǔn)直調(diào)整占用了很大一部分時(shí)間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準(zhǔn)方法都是憑經(jīng)驗(yàn)，來回反復(fù)調(diào)整，也有人提出“高處動(dòng)尾部，低處動(dòng)整體”的方法。其實(shí)后一種方法只是對(duì)前者的一種方法的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，后一種方法是從整體上把握了調(diào)整的方向，可以讓操作人員少走彎路，但并未提出一種定量的調(diào)整方法，所以在光路大體調(diào)整好后，還是靠經(jīng)驗(yàn)感覺反復(fù)進(jìn)行進(jìn)一步精調(diào)，所以光路準(zhǔn)直工作的效率還是亟待提高。影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：在具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度還與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。數(shù)控軸平面度激光干涉儀供應(yīng)商

雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實(shí)際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具。安徽正規(guī)激光干涉儀

激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為長(zhǎng)度計(jì)量基準(zhǔn)的高精度測(cè)量?jī)x器，隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn)，因其具有性能穩(wěn)定、檢測(cè)精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點(diǎn)，已成為高精密機(jī)械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器，在機(jī)械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分，單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大，一般用于特定環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室。雙頻激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測(cè)量位移，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強(qiáng)，普遍應(yīng)用于各種工況下。安徽正規(guī)激光干涉儀