激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。深圳工業(yè)級(jí)激光干涉儀價(jià)格

激光干涉儀的測(cè)試質(zhì)量是由鏡子本身和反沖質(zhì)量組成的復(fù)合體。這個(gè)復(fù)合體是將鏡子的一部分嵌在一個(gè)與其質(zhì)量相等的反沖質(zhì)量體內(nèi)做成的。鏡子和反沖質(zhì)量?jī)烧叩目v軸要重合,鏡體的背面分布著四個(gè)永磁體做成的針,而相應(yīng)的線圈固定在反沖質(zhì)量體與其相對(duì)的面上。針伸入對(duì)應(yīng)的線圈內(nèi),組成磁鐵-線圈驅(qū)動(dòng)器。這四組磁鐵-線圈驅(qū)動(dòng)器用來(lái)調(diào)整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測(cè)器運(yùn)行過(guò)程中,需要使用光杠桿對(duì)測(cè)試質(zhì)量的狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)控制,使干涉儀穩(wěn)定地保持鎖定狀態(tài)。上海數(shù)控軸平面度激光干涉儀設(shè)計(jì)激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢(shì)。

激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。“干涉法”是一種利用波(通常是光波、無(wú)線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測(cè)量方法。測(cè)量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、較高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、較高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

近幾年，隨著光學(xué)產(chǎn)品的快速發(fā)展，從航天等高科技產(chǎn)品到數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)等大眾消費(fèi)產(chǎn)品，無(wú)不與光學(xué)息息相關(guān)，推動(dòng)了光學(xué)研究和光學(xué)加工的快速發(fā)展，同時(shí)也光學(xué)檢測(cè)手段提出了更高的要求，也正因?yàn)槿绱耍す飧缮鎯x成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢(mèng)想與追求，擁有一臺(tái)激光干涉儀，就擁有世界的檢測(cè)手段，就擁有令人信服的檢測(cè)結(jié)果，就能證明可以生產(chǎn)的產(chǎn)品。激光干涉儀的使用方法：1、開(kāi)機(jī)：接通電源打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，1分鐘后開(kāi)始檢測(cè)。（因?yàn)閯傞_(kāi)機(jī)激光器不穩(wěn)定）2、光路調(diào)整：旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn)，顯示器上顯示完整的圓形圖像。影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：在具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度還與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，對(duì)數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀的信號(hào)交流信號(hào)，因而對(duì)于激光干涉儀來(lái)說(shuō)，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀的維護(hù)：儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)。數(shù)控機(jī)床激光干涉儀采購(gòu)

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。深圳工業(yè)級(jí)激光干涉儀價(jià)格

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。深圳工業(yè)級(jí)激光干涉儀價(jià)格