激光干涉儀是激光的應用之一，它以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。未來，激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統、光學系統等方面進行發展，從測量數據的可靠性、精確性，以及測量儀器的便攜性等，不斷改善激光干涉儀的各項性能。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：激光器頻率(波長)及頻率穩定性。西安激光干涉儀廠家

激光干涉儀的測量精度高：以激光干涉技術為關鍵，分辨率可達納米級;采用高精度環境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度;干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉軸分度精度的測量。科研開發激光干涉儀供應廠家激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。

激光干涉儀在立式配置下，樣品的放置，夾持和調整更方便，提高了測試效率。立式架構整機占地更小；整個干涉腔，處于穩定的框架結構下，這樣對抗振要求更低，可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應用的特殊優勢，比如高精度曲率半徑測量，大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量，要求樣品表面保持和工作狀態一致的條件下測量。工業現場測試環境下，立式配置下，樣品的夾持放置，更有效率，更加穩定。在某些應用場合，基于測試效率，樣品夾持，測試方式或精度的要求，立式配置會更有優勢。

激光干涉儀在數控機床檢定中的應用：隨著數控機床應用的普及，采用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測已經成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中激光干涉儀應用比較多。與傳統的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數據，為機床誤差修正提供依據，位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。

激光干涉儀輔助工具的選擇：雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具：①研制低高度云臺支架；部分機床工作臺高度與地面是基本相平的，那么測量Z軸時，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面，則肯定會因為三角架本身的高度，損失測量范圍。②選擇磁性表座；磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測量時，往往側面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量。數控軸垂直度激光干涉儀維修

激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。西安激光干涉儀廠家

激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應用呢?可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。內置國內外通用的標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。西安激光干涉儀廠家