激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領域應用普遍。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合,可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下,還可以對數控機床進行動態性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態特性分析,驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性分析等,具有極高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據。激光干涉儀的應用:幾何精度檢測。科研開發激光干涉儀廠家直銷
激光干涉儀初步調整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續調整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。浙江數控軸幾何參量激光干涉儀供應商激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術為關鍵。
數控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當前為有效且普遍應用的方法是利用激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償。數控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償(值)與記憶式螺距誤差補償(增量值)兩種,三菱和法那科系統就是增量值補償的表示之一。當采用激光干涉儀進行增量值補償時,會遇到數據怎么對應補償點位置的問題。機床系統種類繁多,正逐步向自動補償邁進。
激光干涉儀組件:要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據,需要使用激光測量系統的以下組件,主要有:XL激光頭、三腳架和云臺、XC環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應(DopplerEffect):任何形式的波傳播,都是由于波源、傳播介質或中間反射器的運動,會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移(DopplerShift),其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義。
激光干涉儀的使用方法:透鏡面形檢測:調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現干涉條紋,條紋越少精度越高。此外,干涉圖像與對準系統同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測:開啟標尺電源開關(清零),調整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條),凸透鏡向上調節高度(凹透鏡向下調節高度)到第2個星點出現的時候調節標準鏡頭調節旋鈕,使圖像出現貓眼像,標尺移動的數值就為被測透鏡的曲率半徑。可進行滾珠絲桿的動態特性分析。深圳工業激光干涉儀設備廠家
激光干涉儀的維護:儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內。科研開發激光干涉儀廠家直銷
激光干涉儀原理:激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。科研開發激光干涉儀廠家直銷