現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。廣東坐標測量機激光干涉儀定制

從激光器發出的一束單色﹑頻率穩定的激光,在分光鏡上被分為強度相等的兩束,一束經分光鏡反射進入干涉儀的一臂(稱為Y臂),另一束透過分光鏡進入與其垂直的另一臂(稱為X臂),在經歷了幾乎相同的度越時間之后,兩束光返回,并在分光鏡上重新相遇,并在那里產生干涉。若兩束光的度越時間相等(或時間差為光振動周期的整數倍)則兩束光在光探測器上干涉減弱呈暗條紋,而返回激光器的那個合光束則是干涉加強呈亮條紋。精心調節干涉儀的臂長使兩束光完全相干相減,則探測器探測不到光強,激光干涉儀引力波探測器的輸出信號為零。這是探測器的初始工作狀態。河北精密儀器校準激光干涉儀維修激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。

激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具，能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量長可以達到80m，較高線性測長分辨率0.001μm，較高測量速度240m/min。對于不同的數控機床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析，能夠將影響機床精度的原因列出來，數控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數據，了解到機床在哪些方面存在誤差，這樣就為調整和數控機床維修提供了充分的數據支持和指導，縮短數控機床維修時間，提高數控機床維修的效率。

激光干涉儀的應用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量。

數控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當前為有效且普遍應用的方法是利用激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償。數控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種，三菱和法那科系統就是增量值補償的表示之一。當采用激光干涉儀進行增量值補償時，會遇到數據怎么對應補償點位置的問題。機床系統種類繁多，正逐步向自動補償邁進。激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發展趨勢。機床校準激光干涉儀哪家好

可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析。廣東坐標測量機激光干涉儀定制

激光干涉儀的使用方法：透鏡面形檢測：調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座）放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現干涉條紋，條紋越少精度越高。此外，干涉圖像與對準系統同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關（清零），調整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調節高度（凹透鏡向下調節高度）到第2個星點出現的時候調節標準鏡頭調節旋鈕，使圖像出現貓眼像，標尺移動的數值就為被測透鏡的曲率半徑。廣東坐標測量機激光干涉儀定制