真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環風冷降溫;6、控溫穩定度:2℃,具有PID參數自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)工業烤箱常見的用途有哪些?合肥真萍告訴您。安徽工業烤箱的工廠
潔凈烘箱,本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。箱體結構:1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內膽材料:采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費。4電熱部分:采用進口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發生器5風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經美國進口H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100;可靠先進的測控系統1溫度控制裝置:日本進口溫控器,內置PID自動整定,斜率設定功能2溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監控裝置:采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。安徽工業烤箱的工廠合肥真萍與您分享工業烤箱的重要性。
工業烤箱的工作原理:工業烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業烤箱內部的溫度值,在通過控制系統進行操作。工業烤箱的熱風循環加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業烤箱內物料的干燥速度。通過數顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環送風方式,熱風循環系統分為水平式和垂直式。均經精確計算,風源是由送風馬達運轉帶動風輪經由電熱器,將熱風送至風道后進入烘箱工作室,且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環加熱運用,如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關,可借此送風循環系統迅速恢復操作狀態溫度值。
真萍科技電腦式潔凈節能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節能氮氣柜。一、氮氣監控系統:1.1、2.3”LED大屏幕數字顯示濕度/溫度。1.2、溫濕度顯示值0.1%-99.9%RH,溫度顯示值0.1℃-60.0℃。1.3、溫濕度收集采準確傳感器,長距離傳輸無誤差。1.4、濕度控制:2.4.1利用濕度設定值來控制氮氣流入,到達濕度設定值即停止進氣,節省氮氣耗用。2.4.2濕度在1%-60%RH可調整。1.5、溫濕度記錄功能:2.5.1內建內存,可儲存溫度/濕度,收集時間1~240分鐘可自行設定。2.5.2可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。2.5.3品管記錄格式設計,有助于內部記錄追蹤并可支持數據庫檔案格式。1.6、濕度警報系統:1.6.1可設定啟動警報的濕度值及條件,內配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。1.6.2可另外選配積層式警示燈。1.7、溫濕度偏移校正功能:內建校正功能,確保顯示準確度。合肥真萍告訴您工業烤箱的運用方式。
HMDS預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。上海哪家工業烤箱廠家值得信賴?生產工業烤箱門配件
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用途介紹:無氧干燥箱應用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。1、技術指標與基本配置:1.1使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;1.2爐膛腔數:2個,上下布置;1.3爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;2、氧含量(配氧分析儀):2.1高溫狀態氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩定度:1℃;2.3溫度均勻度:2%℃(260℃平臺);安徽工業烤箱的工廠
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