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來源: 發布時間:2022-02-25

進行光刻:

將設計好的電路掩模,置于光刻機的紫外射線下,然后再在它的下面放置Wafer,這一刻,Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,刻上了電路圖。然后將光刻膠去除,光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過多次光刻。而隨著技術革新,極紫光刻出現了,現階段光刻的效率變得比以前更高,甚至于可以達到光刻一次完成。

注射:

在真空下,將導電材料注入晶圓的電路內部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 車床行業機械臂又名車床自動上下料機械手、上下料機械手。廣東正規晶圓運送機械吸臂代理廠家

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車床行業機械臂又名車床自動上下料機械手、上下料機械手,車床自動上下料機械手主要實現機床制造過程的完全自動化,并采用了集成加工技術,適用于生產線的上下料、工件翻轉、工件轉序等。在國內的機械加工, 很多都是使用專機或人工進行機床上下料的方式, 這在產品比較單一、產能不高的情況下是非常適合的, 但是隨著社會的進步和發展, 科技的日益進步, 產品更新換代加快, 使用專機或人工進行機床上下料就暴露出了很多的不足和弱點, 一方面專機占地面積大結構復雜、維修不便, 不利于自動化流水線的生產;另一方面, 它的柔性不夠, 難以適應日益加快的變化,不利于產品結構的調整;其次, 使用人工會造成勞動強度的增加, 容易產生工傷事故, 效率也比較低下, 且使用人工上下料的產品質量的穩定性不夠, 不能滿足大批量生產的需求。 佛山正規晶圓運送機械吸臂供應商家機械手臂應用場景多在制造業。

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半導體晶圓有時在處理室內暴露在高溫中。因此,機械手有時輸送高溫的半導體晶圓。若高溫的半導體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關節的溫度也上升。由此,安裝于關節的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進該軸承內的潤滑劑的劣化。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關節的軸承相比,配置在前臂連桿和手部之間的關節的軸承的維護頻率較高。

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產品。

晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,**化,并經蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。

晶圓是制造半導體芯片的基本材料,半導體集成電路**主要的原料是硅,因此對應的就是硅晶圓。

輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成。在本說明書中,將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸,上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端。而且,前臂連桿的另一端連結于手部。上臂連桿和前臂連桿經由關節而連結。前臂連桿和手部也經由關節而連結。在各個關節處安裝有軸承,以便使連桿順暢地旋轉。在輸送半導體晶圓的機械手中,為了不污染傳送室內而屏蔽(shield)安裝于關節的軸承。手臂就要產生振動,或動作時工件卡死無法工作。

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技術實現要素:


本實用新型要解決的技術問題是:現有機械手臂易出現碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題,本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內,并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環形。

可選地,所述絨毛墊的數量為三個以上,各個所述絨毛墊之間間隔排布。 一般機構可由電力、液壓、氣動、人力驅動。中山本地晶圓運送機械吸臂價格信息

手端的定位由各部關節相互轉角來確定,其誤差是積累誤差,因而精度較差,其位置精度也更難保證。廣東正規晶圓運送機械吸臂代理廠家

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