本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術：

在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

技術實現要素：

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

科學家已經研制出了橡膠機器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死。原裝晶圓運送機械吸臂市場報價

    基因決定”——生長方法導致若要回答這個問題，首先要說一個大約有100余年歷史的原因。。。1918年，前蘇聯科學家切克勞斯基（Czochralski）建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法，簡稱CZ法。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉。這個階段主要是通過溶解、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅。接下來是單晶硅生長工藝。就是從硅熔體中生長出單晶硅。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，在保護性氣氛中高溫加熱使其熔化。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉著的熔體中緩慢上升，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠。***一步是晶圓成型。單晶硅錠一般呈圓柱型，直徑從3英寸到十幾英寸不等。硅錠經過切片、拋光之后，就得到了單晶硅圓片，也即晶圓。 中山正規晶圓運送機械吸臂怎么聯系車床行業機械臂又名車床自動上下料機械手、上下料機械手。

接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時又不會產生不需要的化學反應。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉，同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內部晶格方向相同的單晶硅棒。

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩穩地附著在機械手臂上，不易發生平移，這樣不僅可以避免發生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征、方面及其優點將會變得清楚。 對了懸臂式的機械手，還要考慮零件在手臂上布置。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手，該真空吸附機械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率。手臂。起著連接和承受外力的作用。汕頭進口晶圓運送機械吸臂價位

對于粉塵作業的機械手還要添裝防塵設施。原裝晶圓運送機械吸臂市場報價

為了解決使用機器語言編寫應用程序所帶來的一系列問題，人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機器指令。這種助記符號來表示計算機指令的語言稱為符號語言，也稱匯編語言。在匯編語言中，每一條用符號來表示的匯編指令與計算機機器指令一一對應；記憶難度**減少了，不僅易于檢查和修改程序錯誤，而且指令、數據的存放位置可以由計算機自動分配。用匯編語言編寫的程序稱為源程序，計算機不能直接識別和處理源程序，必須通過某種方法將它翻譯成為計算機能夠理解并執行的機器語言，執行這個翻譯工作的程序稱為匯編程序。原裝晶圓運送機械吸臂市場報價

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