8. 復合真空計復合真空計結合多種測量技術,適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優點:測量范圍廣,適用性強。缺點:成本較高。應用:多功能真空系統。9. 其他真空計(1)放射性電離真空計原理:利用放射性物質電離氣體分子測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優點:無需電源,穩定性好。缺點:放射性物質存在安全隱患。應用:特殊環境真空測量。(2)聲波真空計原理:通過聲波傳播速度變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:非接觸式測量。缺點:精度較低。應用:特定工業應用。真空計的維修與保養。安徽mems皮拉尼真空計供應商
真空計相關知識:
真空計的通信接口現代真空計標配RS485/Modbus協議,**型號支持EtherCAT(延遲<1μs)。數字輸出可減少模擬信號噪聲,如電離規的離子電流低至10?12A。物聯網型真空計集成自診斷功能(如INFICON的SmartGauge)。16.真空計在航天器中的應用衛星推進系統監測需耐受-50~120℃溫度波動,采用冗余設計(如雙電離規)。深空探測器使用輻射硬化芯片,抗單粒子效應。阿波羅登月艙真空計采用鉭燈絲,適應月球晝夜300℃溫差。 溫州真空計多少錢皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統中的壓力。
真空計相關知識
真空計的通信接口現代真空計標配RS485/Modbus協議,**型號支持EtherCAT(延遲<1μs)。數字輸出可減少模擬信號噪聲,如電離規的離子電流低至10?12A。物聯網型真空計集成自診斷功能(如INFICON的SmartGauge)。16.真空計在航天器中的應用衛星推進系統監測需耐受-50~120℃溫度波動,采用冗余設計(如雙電離規)。深空探測器使用輻射硬化芯片,抗單粒子效應。阿波羅登月艙真空計采用鉭燈絲,適應月球晝夜300℃溫差。
真空計與氣體脫附效應材料放氣(如橡膠釋出H?O)會導致測量值虛高。解決措施:① 選用低放氣材料(Viton替代橡膠);② 烘烤(150℃可加速脫附);③ 分離測量(將規管安裝在抽氣口遠端)。超高真空系統放氣率需<10?1? Pa·m3/s·cm2。18. 真空計的電磁兼容性電離規的高壓電源(2 kV)可能輻射EMI,需屏蔽層≥60 dB。MEMS規對RF場敏感,5 GHz Wi-Fi可能導致±5%讀數偏移。航天級真空計需通過MIL-STD-461G標準測試。
測量兩個腔室壓差,量程1~10?? Pa,精度±0.1%。應用包括檢漏儀(氦質譜儀參考端壓力監控)和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器(如橫河EJA系列)溫度穩定性達±0.1%FS/年。 如何校準電容真空計?
真空計的拆裝需要謹慎操作,以確保設備不受損壞并保持測量精度。以下是拆裝真空計的一般步驟和注意事項。拆卸步驟斷電與泄壓:關閉電源,確保系統斷電。緩慢泄壓,確保系統內無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計與系統的連接。拆卸真空計:按說明書拆卸固定螺栓或夾具。小心取下真空計,避免碰撞或掉落。檢查與清潔:檢查真空計和連接部件有無損壞或污染。清潔接口和密封面,確保無雜質。如果懷疑電容真空計出現故障,應及時進行檢修或更換。上海大氣壓真空計生產企業
電容真空計的校準通常需要使用已知真空度的標準真空源或真空計進行比對。安徽mems皮拉尼真空計供應商
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應用:普通真空系統監測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優點:結構簡單、穩定性好。缺點:精度較低。應用:低真空和中真空測量。安徽mems皮拉尼真空計供應商