將可燃氣體檢測儀的分析信號、壓力信號接入蓄熱式焚燒爐RTO的編程控制系統，正常投加相關邏輯，各程序具備控制閥的程控電氣、氣體信號，可燃氣體濃度，用空氣強制稀釋或直接排放； 調整各參數的設定，使RTO處于自動運行狀態。 制定符合企業實際生產情況的安全操作規程和運行管理制度，培訓員工進行開、停及緊急狀態的操作 做好檢查記錄，地線、道岔、斷路器、酸(堿)處理單元、RTO公用工程等的檢查、維護； 同時統一管理生產中的工作，避免各廠(工段)同時投料、同時蒸)精餾，含有機物廢氣集中排放，盡量保持廢氣濃度、氣量相對穩定； 定期檢查(標準)各傳感器，如溫度、壓力、液位、pH計、可燃氣體檢測器等，確保RTO運行處于程序控制狀態。 目前，由于RTO系統在運行使用中設計基礎資料不完整，設計本身存在缺陷，程序控制主要集中在RTO主機上，不含可燃氣體檢測信號； 也有操作失誤導致的火災、爆燃等安全問題。 企業和RTO供應商在設計初期應做好基礎資料的收集、確認、利用，提高RTO本身的安全設計水平，同時企業應加強對RTO的操作、維護、管理，及時消除風險，確保安全。每個地區、每個行業都有不同的處理要求，我公司的設計都滿足這些要求。云南三塔式蓄熱式焚燒爐技術

涂裝過程中產生的揮發性有機化合物(VOC)主要有甲苯、二甲苯、三甲苯等。涂裝車間產生的有機廢氣主要來源于噴漆室、揮發室和干燥室。干燥室排出的煙氣具有風量小、濃度高的特點，可采用蓄熱式焚燒爐直接處理。在高溫下，揮發性有機物被氧化分解，產生的熱量作為烘房的熱源。凈化后的空氣可以達到國家和地方的排放標準。噴漆室廢氣具有風量大、濃度低的特點，廢氣中含有顆粒狀漆霧，粘度大、濕度大。所以需要用漆霧過濾廢氣，然后進入沸石輪，將過濾后的廢氣濃縮。濃縮后成為高濃度低風量氣體，再進入旋轉RTO氧化處理。還能使噴漆廢氣和烘干廢氣共同參與吸附和濃縮。噴漆廢氣與高溫干燥廢氣混合后，由于溫度升高，相對濕度降低，節省了除濕的設備投資和運行費用，減少了進入RTO的廢氣量。福建三床式蓄熱式焚燒爐沸石轉輪針對大風量、低濃度的有機廢氣，經吸附再脫附后轉換成小風量、高濃度的廢氣。

洗滌塔采用循環水噴淋廢氣的方法除塵和吸收廢氣。其實質是利用廢氣的水溶性(H2SO4、HCL、NH3等。)，以水為基本介質，用適當比例的液體吸收劑處理的氣體混合物，完成沉淀、冷卻、凝聚、洗滌、中和、吸收、脫水等物理化學反應，從而凈化氣體。缺點是填料會造成堵塞，廢水需要二次處理。一般在蓄熱式焚燒爐系統中作為后處理或者前處理使用。 活性炭吸附設備因其工藝簡單、吸附效果好、維護方便而應用于工業有機廢氣凈化的終端處理。通過對活性炭的改性，可以專門用于吸附酸性、堿性、毒性等不同性質的廢氣處理。活性炭吸附因其應用范圍廣，符合環保法規要求，成為廢氣處理的寵兒。缺點是燃點低，風速低。 一般在蓄熱式焚燒爐系統中用作后處理或者應急旁通。

蓄熱式焚燒爐如果所有閥門都不工作，可能的原因如下 檢查壓縮空氣壓力是否在0.4~0.8Mpa的正常范圍內，主壓縮空氣管道上的手動閥門是否打開。 PLC柜的DC電源是否有問題，保險絲是否熔斷。 第二，如果單個閥門運動異常，可能的原因如下 檢查閥門對應的壓縮空氣管道上的手動閥門是否打開。 檢查閥門對應的PLC柜中間繼電器是否有問題。 檢查閥門的電磁閥是否工作，先檢查電磁閥線圈是否通電；其次，檢查電磁閥內有無雜物，一般拆卸清洗后可以繼續使用。如果氣缸有任何問題，需要由技術人員更換或修理。 觀察現場閥位指示器是否到位。如果現場閥門位置指示器就位，重新調整遠程閥門位置指示器。 還有一種可能是閥門的密封面沾有鐵屑等雜物，導致閥門無法關閉，壓縮空氣一直從兩位五通閥的出口沖出。通常這種情況會隨著雜物脫落而自動消失。否則，應打開檢查門清理雜物。RTO直觀的節能性表現在出口只比入口溫度高~30℃。

半導體行業的VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴散等。在這些工藝中，要用有機溶液(如異丙醇)清洗晶片表面，其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時，光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發性有機溶劑，如醋酸丁酯，在晶片加工過程中也會揮發到大氣中，是有機廢氣的另一個來源。 半導體工業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分。在此過程中，這些有機溶劑大部分揮發到廢氣中。目前，吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附，蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應用于半導體工業，處理各種有機廢氣，并通過熱氧化將有機物質轉化為CO2和水。同時焚燒也是一種處理廢氣的好方法，有穩定的流量和濃度。在熱氧化中，有機廢氣流被加熱，氣相中的有機物被氧化。為了節省燃料的使用，通常使用熱交換器來回收焚燒產生的熱量，以預熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因為半導體行業廢氣焚燒會產生SiO2，使催化劑鈍化，所以接觸氧化很少用于半導體行業。在各種VOC處理設備里面效率高。云南三塔式蓄熱式焚燒爐技術

RTO的操作彈性一般非常大，而且全自動控制。云南三塔式蓄熱式焚燒爐技術

蓄熱式焚燒爐排放中的熱力型氮氧化物：是燃燒時高溫下空氣中的N2和O2自然生成的氮氧化物。其產生的主要前提是燃燒溫度高使氮分子游離，增加其化學活性。然后是高氧氣濃度。為減少熱NOX的自然生成，可采用：來減小燃燒高溫范圍；降低燃燒室內燃燒的峰值溫度；降低燃燒的過量空氣系數和局部氧濃度。根據以上分析，RTO要降低NOX:如果是燃料型，主要是降低爐膛反應溫度，同時合理控制RTO燃燒的氧含量。如果是熱力型，燃燒器采用低氮氧化物燃燒器。如MAXON/天時等品牌。云南三塔式蓄熱式焚燒爐技術

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