Polos-BESM XL Mk2專為6英寸晶圓設計,寫入區域達155×155 mm,平臺雙向重復性精度0.1 μm,滿足工業級需求。其搭載20x/0.75 NA尼康物鏡和120 FPS高清攝像頭,支持實時觀測與多層對準。配套的BEAM Xplorer軟件簡化了復雜圖案設計流程,內置高性能筆記本電腦實現快速數據處理,成為微機電系統(MEMS)和光子晶體研究的理想工具。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。雙光子聚合擴展:結合Nanoscribe技術實現3D微納打印,拓展微型機器人制造。湖北德國POLOS光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模
某生物物理實驗室利用 Polos 光刻機開發了基于壓阻效應的細胞力傳感器。其激光直寫技術在硅基底上制造出 5μm 厚的懸臂梁結構,傳感器的力分辨率達 10pN,較傳統 AFM 提升 10 倍。通過在懸臂梁表面刻制 100nm 的微柱陣列,實現了單個心肌細胞收縮力的實時監測,力信號信噪比提升 60%。該傳感器被用于心臟纖維化機制研究,成功捕捉到心肌細胞在病理狀態下的力學變化,相關數據為心肌修復藥物開發提供了關鍵依據。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。河南德國桌面無掩模光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米Polos-BESM 光刻機:無掩模激光直寫,50nm 精度,支持金屬 / 聚合物同步加工,適配第三代半導體器件研發。
上海有機化學研究所通過光刻技術制備多組分納米纖維,實現了功能材料的精確組裝。類似地,Polos系列設備可支持此類結構的可控加工,為新能源器件(如柔性電池)和智能材料提供技術基礎3。設備的高重復性(0.1 μm)確保了科研成果的可轉化性。掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。
細胞培養芯片需根據不同細胞類型設計表面微結構,傳統光刻依賴掩模庫,難以滿足個性化需求。Polos 光刻機支持 STL 模型直接導入,某干細胞研究所在 24 小時內完成了神經干細胞三維培養支架的定制加工。其制造的微柱陣列間距可精確控制在 5-50μm,適配不同分化階段的細胞黏附需求。實驗顯示,使用該支架的神經細胞軸突生長速度提升 30%,為神經再生機制研究提供了高效工具,相關技術已授權給生物芯片企業實現量產。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。柔性電子:曲面 OLED 驅動電路漏電降 70%,彎曲半徑達 1mm,適配可穿戴設備。
德國 Polos 光刻機系列以其緊湊的設計,在有限的空間內發揮著巨大作用。對于研究實驗室,尤其是空間資源緊張的高校和初創科研機構來說,設備的空間占用是重要考量因素。Polos 光刻機占用空間小的特點,使其能夠輕松融入各類實驗室環境。? 盡管體積小巧,但它的性能卻毫不遜色。無掩模激光光刻技術保障了高精度的圖案制作,低成本的優勢降低了科研投入門檻。在小型實驗室中,科研人員使用 Polos 光刻機,在微流體、電子學等領域開展研究,成功取得多項成果。從微納結構制造到新型器件研發,Polos 光刻機證明了小空間也能蘊藏大能量,為科研創新提供有力支持。固態電池:鋰金屬界面阻抗降至 50Ω?cm2,電池循環壽命提升 3 倍。河南德國POLOS桌面無掩模光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模
微型傳感器量產:80 μm開環諧振器加工能力,推動工業級MEMS傳感器升級。湖北德國POLOS光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模
大尺寸晶圓的高效處理:Polos-BESM XL的優勢!Polos-BESM XL Mk2專為6英寸晶圓設計,寫入區域達155×155 mm,平臺重復性精度0.1 μm,滿足工業級需求。搭配20x/0.75 NA尼康物鏡和120 FPS高清攝像頭,實時觀測與多層對準功能使其成為光子晶體和柔性電子器件研究的理想工具。其BEAM Xplorer軟件簡化復雜圖案設計,內置高性能筆記本實現快速數據處理62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。湖北德國POLOS光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模