Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統QuantumX的中心是Nanoscribe獨jia專li的雙光子灰度光刻技術。這種具有創新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業的設計迭代，打印樣品結構既可以用作技術驗證原型，也可以用作工業生產上的加工模具。德國Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會展LASERWorldofPhotonics上發布了全新工業級雙光子灰度光刻微納打印系統QuantumX，并榮獲創新獎。該系統是世界上No.1基于雙光子灰度光刻技術（2GL?）的精密加工微納米打印系統，可應用于折射和衍射微光學。更多灰度光刻知識，歡迎咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。廣東Nanoscribe灰度光刻無掩光刻

雙光子灰度光刻技術可以一步實現真正具有出色形狀精度的多級衍射光學元件（DOE），并且滿足DOE納米結構表面的橫向和縱向分辨率達到亞微米量級。由于需要多次光刻，刻蝕和對準工藝，衍射光學元件（DOE）的傳統制造耗時長且成本高。而利用增材制造即可簡單一步實現多級衍射光學元件，可以直接作為原型使用，也可以作為批量生產母版工具。Nanoscribe的QuantumX打印系統非常適合DOE的制作。該系統的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學元件所需的橫向和縱向高分辨率要求。基于雙光子灰度光刻技術(2GL®)的QuantumX打印系統可以實現一氣呵成的制作，即一步打印多級衍射光學元件，并以經濟高效的方法將多達4,096層的設計加工成離散的或準連續的拓撲。廣東Nanoscribe灰度光刻無掩光刻Nanoscribe中國分公司-納糯三維帶您了解Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統。

這種設計策略不僅可用于改進現有的傳感器，該項目還旨在展示具有動態移動部件的新型傳感器概念的可行性。在第二種設計中，研究人員在一根光纖的端面3D打印了一個微型轉子。從轉子上反射出的光脈沖可以被讀取，因此該傳感器可以被用于分析流速。FabryPérot傳感器進行溫度和折射率感應的測試裝置圖。圖片：資料來源見本文下方。通過動態可旋轉的3D微納加工概念，研究人員展示了智能設計如何改進現有的傳感器，并為整個新的微型化傳感器概念鋪平道路的能力。

對準雙光子光刻技術(A2PL®)是Nanoscribe基于雙光子聚合（2PP）的一種新型專利納米微納制造技術。該技術可以將打印的結構自動對準到光纖和光子芯片上，例如用于光子封裝中的光學互連。同時高精度檢測系統還可以識別基準點或拓撲基底特征，確保對3D打印進行高度精確的對準。Nanoscribe對準雙光可光刻技術搭配nanoPrintX，一種基于場景圖概念的軟件工具，可用于定義對準3D打印的打印項目。樹狀數據結構提供了所有與打印相關的對象和操作的分層組織，用于定義何時、何地、以及如何進行打印。在nanoPrintX中可以定義單個對準標記以及基板特征，例如芯片邊緣和光纖表面。使用QuantumXalign系統的共焦單元或光纖照明單元，可以識別這些特定的基板標記，并將其與在nanoPrintX中定義的數字模型進行匹配。對準雙光子光刻技術和nanoPrintX軟件是QuantumXalign系統的標配。Quantum X是全球頭一臺灰度光刻激光直寫系統。

Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無掩模光刻系統的設計多功能性配合打印材料的多方面選擇性，可以實現微機械元件的制作，例如用光敏聚合物，納米顆粒復合物，或水凝膠打印的遠程操控可移動微型機器人，并可以選擇添加金屬涂層。此外，微納米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微機電系統（MEMS）。微米級增材制造能夠突破傳統微納光學設計的上限，借助Nanoscribe雙光子聚合技術的出色的性能，可以輕松實現球形，非球形，自由曲面或復雜3D微納光學元件制作，并具備出色的光學質量表面和形狀精度。雙光子灰度光刻技術可以一步實現真正具有出色形狀精度的多級衍射光學元件（DOE），并且滿足DOE納米結構表面的橫向和縱向分辨率達到亞微米量級。由于需要多次光刻，刻蝕和對準工藝，衍射光學元件（DOE）的傳統制造耗時長且成本高。而利用增材制造即可簡單一步實現多級衍射光學元件，可以直接作為原型使用，也可以作為批量生產母版工具。灰度光刻技術可以應用于微電子、光電子、生物醫學等多個領域。廣東Nanoscribe灰度光刻無掩光刻

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超高速灰度光刻技術的應用不僅局限于傳統領域，還可以拓展到新興領域。例如，在新能源領域，它可以用于制造高效的太陽能電池板；在人工智能領域，它可以用于制造更快、更強大的計算芯片。這些應用將進一步推動科技的發展，為人類創造更美好的未來。超高速灰度光刻技術的發展離不開科研人員的不懈努力和創新精神。他們通過不斷突破科技邊界，攻克了一個又一個難題，從而實現了這一技術的突破。他們的付出為我們帶來了更多的機遇和挑戰，也為科技進步做出了巨大貢獻。超高速灰度光刻技術的問世，標志著科技進步的新里程碑。我們相信，在這項技術的推動下，未來將會有更多的創新和突破。讓我們共同期待超高速灰度光刻技術帶來的美好未來！廣東Nanoscribe灰度光刻無掩光刻