微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,但是原理不同,我們常見的微納3D打印技術是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術,利用該技術我們理論上可以獲得任意想要的結構,不光是微透鏡陣列結構(如下圖5所示),該方法的優勢是可以完全按照設計獲得想要的結構,對于雙光子聚合的微結構,我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結構可以直接進行后續的復制工作,并通過納米壓印技術進行復制。灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版(掩膜接觸式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區域完全曝透,而某些區域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態的光刻膠結構(如下圖4所示,八邊金字塔結構)。微透鏡陣列也是類似,可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態。需要注意,灰度光刻方法獲得的微透鏡陣列的表面粗糙度相比于熱回流和噴墨法獲得的透鏡要大的多,約為Ra=100nm,前兩者可以會的Ra=50nm的球面。灰度光刻技術還可以與其他先進技術相結合,如直接激光寫入(Direct Laser Writing)等。2PP灰度光刻系統
Nanoscribe成立于2007年,憑借著爾斯魯厄理工學院(KIT)的技術背景和卡爾蔡司公司(CarlZeissAG)的支持,經過十幾年的不斷研究和成長成為了現在世界公認的微納米加工技術和3D打印市場的帶領者,并于2017年在上海成立分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。公司主要產品有基于雙光子聚合技術(Two-PhotonPolymerization)并擁有多項國際專項的雙光子微納3D打印系統PhotonicProfessionalGT2。全球頭一臺工業級雙光子灰度光刻(2GL®)微納打印設備QuantumX受到普遍關注并被眾多高學府和高科技單位所采用,例如哈佛大學,牛津大學等出名的院校,華為公司等。可應用于微納機器人,再生醫學工程,微納光學,力學超材料等不同領域。黑龍江工業級灰度光刻三維微納米加工系統灰度光刻技術可提高光刻膠的分辨率。
如何減少甚至避免因此帶來的柔軟樣品表面的形變,以實現對原始表面的精確成像一直是一個重要議題。Nanoscribe公司的系列產品是基于雙光子聚合原理的高精度微納3D打印系統,雙光子聚合技術是實現微納尺度3D打印特別有效的技術,其打印物體的特別小特征尺寸可達亞微米級,并可達到光學質量表面的要求。NanoscribePhotonicProfessionalGT2使用雙光子聚合(2PP)來產生幾乎任何3D形狀:晶格、木堆型結構、自由設計的圖案、順滑的輪廓、銳利的邊緣、表面的和內置倒扣以及橋接結構。PhotonicProfessionalGT2結合了設計的靈活性和操控的簡潔性,以及非常普遍的材料-基板選擇。因此,它是一個理想的科學儀器和工業快速成型設備,適用于多用戶共享平臺和研究實驗室。
Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統生產商,擁有多項**技術,為全球客戶提供整套硬件,軟件,打印材料和解決方案一站式服務。Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統生產商,擁有多項專項技術,為全球客戶提供整套硬件,軟件,打印材料和解決方案一站式服務。Nanoscribe的雙光子聚合技術具有極高設計自由度和超高精度的特點,結合具備生物兼容特點的光敏樹脂和生物材料,開發并制作真正意義上的高精度3D微納結構,適用于生命科學領域的應用,如設計和定制微型生物醫學設備的原型制作。相比于傳統的二進制光刻技術,灰度光刻技術可以更高效地利用光刻膠,降低成本。
經過10年的市場銷售,Nanoscribe已幫助了許多科學和工業領域的開拓者和創新的帶領者,例如,為ICT生產DOE,微光學以及光子引線鍵合。他們的新IP-Visio在30個國家/地區擁有1,000多個用戶,受到業界的強烈關注。2019年6月該公司推出了一款新型的機器QuantumX,使用雙光子光刻技術制造納米尺寸的折射和衍射微光學元件,尺寸可小至200微米。根據Nanoscribe的聯合創始人兼CSOMichaelThiel博士的說法,“Beers定律對當今的無掩模光刻設備施加了強大的限制,QuantumX采用雙光子灰度光刻技術,克服了這些限制,提供了前所未有的設計自由度和易用性,我們的客戶正在微加工的前沿工作。“。如果了解雙光子灰度光刻技術,敬請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。2PP灰度光刻系統
Nanoscribe雙光子灰度光刻系統Quantum X適用于制造微光學衍射以及折射元件。2PP灰度光刻系統
Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2使用雙光子聚合(2PP)來產生幾乎任何3D形狀:晶格、木堆型結構、自由設計的圖案、順滑的輪廓、銳利的邊緣、表面的和內置倒扣以及橋接結構。PhotonicProfessionalGT2結合了設計的靈活性和操控的簡潔性,以及非常廣的材料-基板選擇。因此,它是一個理想的科學儀器和工業快速成型設備,適用于多用戶共享平臺和研究實驗室。Nanoscribe的3D無掩模光刻機目前已經分布在30多個國家的前沿研究中,超過1,000個開創性科學研究項目是這項技術強大的設計和制造能力的特別好證明2PP灰度光刻系統