Quantum X shape作為理想的快速成型制作工具,可實現通過簡單工作流程進行高精度和高設計自由度的制作。作為2019年推出的頭一臺雙光子灰度光刻 (2GL ®) 系統Quantum X的同系列產品,Quantum X shape提升了3D微納加工能力,即完美平衡精度和速度以實現高精度增材制造,以達到高水平的生產力和打印質量。總而言之,工業級Quantum X 打印系統系列提供了從納米到中觀尺寸結構的非常先進的微制造工藝,適用于晶圓級批量加工。高速3D微納加工系統Quantum X shape可實現出色形狀精度和高精度制作。這種高質量的打印效果是結合了特別先進的振鏡系統和智能電子系統控制單元的結果,同時還離不開工業級飛秒脈沖激光器以及平穩堅固的花崗巖操作平臺。Quantum X shape具有先進的激光焦點軌跡控制,可操控振鏡加速和減速至特別快的掃描速度,并以 1 MHz 調制速率動態調整激光功率。Quantum X新型超高速無掩模光刻技術的重點是Nanoscribe獨有的雙光子灰度光刻技術。德國2GLNanoscribe3D微納加工
科學家們基于Nanoscribe的雙光子聚合 技術(2PP) ,發明了GRIN 光學微納制造工藝。這種新的制造技術實現了簡單一步操作即可同時控制幾何形狀和折射率來打印自由曲面光學元件。憑借這種全新的制造工藝,科學家們完成了令人印象深刻的展示制作,打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡(15?μm 直徑)。相似于人類眼睛晶狀體的梯度,這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加,使其具有獨特的聚光特性。Nanoscribe的Photonic Professional打印系統可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點是不再像常規的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,而是在孔型支架內。通過調整直寫激光的曝光參數可以改變微孔支架內材料的聚合量,從而影響打印材料的有效折射率。采用全新SCRIBE技術(通過激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時,對折射率的調節范圍甚至超過0.3。北京雙光子NanoscribePPGTNanoscribe的打印設備具有高度3D設計自由度的特點,而且具備人性化的操作系統。
Nanoscribe稱,Quantum X是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(two-photon grayscale lithography,2GL)的工業系統,目前該技術正在申請專利。2GL將灰度光刻技術與Nanoscribe的雙光子聚合技術相結合,可生產折射和衍射微光學以及聚合物母版的原型。多層衍射光學元件(diffractiveopticalelement,DOE)可以通過在掃描平面內調制激光功率來完成,從而減少多層微制造所需的打印時間。Nanoscribe表示,折射微光學也受益于2GL工藝的加工能力,可制作單個光學元件、填充因子高達100%的陣列,以及可以在直接和無掩模工藝中實現各種形狀,如球面和非球面透鏡。QuantumX的軟件能實時控制和監控打印作業,并通過交互式觸摸屏控制面板進行操作。為了更好地管理和安排用戶的項目,打印隊列支持連續執行一系列打印作業。
由歐盟委員會及歐盟“地平線 2020“計劃(Horizon 2020)資助的HandheldOCT項目于2020年初正式啟動。祝賀Nanoscribe成為該項目成員之一。這個由多所大學,研究機構以及公司的科學家們和工程師們所組成的聯合項目致力于開發一種用于眼科檢查的便攜式可移動成像設備。基于低成本和小型化特點的集成光子芯片技術,該項目有望將光學相干斷層掃描(OCT)從局限的眼科臨床應用帶入更廣的眼科護理移動應用中來。由維也納醫科大學牽頭的HandheldOCT研究項目旨在運用成熟的光學相干斷層掃描成像技術(OCT),來實現便攜式現場即時眼科護理檢查。預計此款正在開發的具備先進技術和成本效應的便攜式集成光子芯片技術OCT成像設備將用于診斷和監測多種眼部疾病,例如,老年性黃斑病變、糖尿病性視網膜病變以及青光眼,這些疾病在世界范圍內都是導致失明的主要因素。該便攜式設備將會在維也納總醫院進行測試以驗證其在眼科診斷的效果。3D自由曲面耦合器利用全內反射,結合Nanoscribe的3D微加工技術可直接在光子芯片上進行3D打印制作。
雙光子聚合(2PP)是一種可實現比較高精度和完全設計自由度的增材制造方法。而作為同類比較好的3D微加工系統Quantum X shape具有下列優異性能:首先,在所有空間方向上低至 100 納米的特征尺寸控制,適用于納米和微米級打印;其次制作高達 50 毫米的目標結構,適用于中尺度打印。高速3D微納加工系統Quantum X shape可實現出色形狀精度和高精度制作。這種高質量的打印效果是結合了特別先進的振鏡系統和智能電子系統控制單元的結果,同時還離不開工業級飛秒脈沖激光器以及平穩堅固的花崗巖操作平臺。Quantum X shape具有先進的激光焦點軌跡控制,可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度,并以 1 MHz 調制速率動態調整激光功率。Quantum X shape 帶有獨特的自動界面查找功能,可以以低至 30 納米的精度檢測基板表面。這種在比較高掃描速度下的納米級精度體現,再加上自校準程序,可在特別短的時間內實現可靠和準確的打印,為 3D 微納加工樹立了新榜樣。這些優異的性能使Quantum X shape 成為快速原型制作和應用于微納光學、微流體、材料表面工程、MEMS 等其他領域中晶圓級規模生產的理想工具。多組柱狀體3D復雜微結構支架是用Nanoscribe自行研發的IP-Dip光刻膠進行3D打印。廣東德國Nanoscribe激光直寫
使用Nanoscribe的3D微加工技術并配合其新型研發的IP-Visio光刻膠,可以打印極其復雜的3D微支架。德國2GLNanoscribe3D微納加工
Nanoscribe的Photonic Professional設備可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點是不再像常規的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,而是在孔型支架內。通過調整直寫激光的曝光參數可以改變微孔支架內材料的聚合量,從而影響打印材料的有效折射率。采用全新SCRIBE技術(通過激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時,對折射率的調節范圍甚至超過0.3。為了證明SCRIBE新技術的巨大潛力,科研人員打印了眾多令人矚目的光學組件,例如已經提到的龍勃透鏡。此外科研人員還打印了消色差雙合透鏡(如圖示)。通過色散透鏡聚焦的光因波長不同焦點位置也不盡相同。通過組合不同折射率的透鏡可幫助降低透鏡的色差。在給出的例子中,成像中的熒光強度和折射率高度相關,同時將打印的雙透鏡中的每個單獨透鏡可視化。德國2GLNanoscribe3D微納加工
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