隨著全球電子信息及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)對硅晶片需求量的快速增長，硅晶片線切割用碳化硅微粉的需求量也正在迅速增加。以碳化硅（SiC）及GaN為**的寬禁帶材料，是繼Si和GaAs之后的第三代半導體。與Si及GaAs相比，SiC具有寬禁帶、高熱導率、高擊穿場強、高飽和電子漂移速率、化學性能穩(wěn)定等優(yōu)點。所以，SiC特別適合于制造高溫、高頻、高功率、抗輻射、抗腐蝕的電子器件。此外，六方SiC與GaN晶格和熱膨脹相匹配，也是制造高亮度GaN發(fā)光和激光二極管的理想襯底材料。SiC晶體目前主要應用于光電器件如藍綠光發(fā)光二極管以及紫外光激光二極管和功率器件包括大功率肖托基二極管，MES晶體管微波器件等。為了制造碳化硅半導體器件，需要在碳化硅晶片表面生長1層或數(shù)層碳化硅薄膜。江蘇n型碳化硅襯底

碳化硅（SiC）半導體器件在航空、航天探測、核能開發(fā)、衛(wèi)星、石油和地熱鉆井勘探、汽車發(fā)動機等高溫（350～500oC）和抗輻射領域具有重要應用；          高頻、高功率的碳化硅（SiC）器件在雷達、通信和廣播電視領域具有重要的應用前景；（目前航天和下屬的四家院所已有兩家開始使用，訂貨1億/年，另兩家還在進行測試，在航天宇航碳化硅器件是不可取代的，可以抵御太空中強大的射線輻射及巨大的差，在核戰(zhàn)或強電磁干擾作用的時候，碳化硅電子器件的耐受能力遠遠強于硅基器件，雷達、通信方面有重要作用江蘇碳化硅襯底6寸半絕緣碳化硅已成為全球半導體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點。

    碳化硅sic的電學性質(zhì)SiC的臨界擊穿電場比常用半導體Si和GaAs都大很多，這說明SiC材料制作的器件可承受很大的外加電壓，具備很好的耐高特性。另外，擊穿電場和熱導率決定器件的最大功率傳輸能力。擊穿電場對直流偏壓轉(zhuǎn)換為射頻功率給出一個基本的界限，而熱導率決定了器件獲得恒定直流功率的難易程度。SiC具有優(yōu)于Si和GaAs的高溫工作特性，因為SiC的熱導率和擊穿電場均高出Si，GaAs好幾倍，帶隙也是GaAs，Si的兩三倍。電子遷移率和空穴遷移率表示單位電場下載流子的漂移速度，是器件很重要的參數(shù)，會影響到微波器件跨導、FET的輸出增益、功率FET的導通電阻以及其他參數(shù)。4H-SiC電子遷移率較大，但各向異性較弱；6H-SiC電子遷移率較小，但各向異性強。

碳化硅SiC的應用前景由于SiC具有上述眾多優(yōu)異的物理化學性質(zhì)，不僅能夠作為一種良好的高溫結構材料，也是一種理想的高溫半導體材料。近20年，伴隨薄膜制備技術的高速發(fā)展，SiC薄膜已經(jīng)被***應用于保護涂層、光致發(fā)光、場效應晶體管、薄膜發(fā)光二極管以及非晶Si太陽能電池的窗口材料等。另外，作為結構材料的SiC薄膜還被認為是核聚變堆中比較好的防護材料，在不銹鋼基體上沉積一層SiC薄膜，可以**地降低氚的滲透率，并保持聚變反應的穩(wěn)定性。總結起來，SiC具有以下幾個方面的應用：(1)高的硬度與熱穩(wěn)定性，可用于***涂層；(2)穩(wěn)定的結構，在核反應技術中用作核聚變堆等離子體的面對材料：(3)大的禁帶寬度，可作為光的短波長區(qū)域發(fā)光材料。例如，3C-SiC的Eg=2.2eV，6H-SiC的Eg=2.9eV可分別用作綠色、藍色LED材料，目前SiC藍光LED已經(jīng)商品化；(4)高的熱導率，可作為超大規(guī)模集成電路和特大規(guī)模集成電路的熱沉材料，**提高了電路的集成度；(5)優(yōu)異的電學性能，在功率器件、微波器件、高溫器件和抗輻射器件方面也具有***的應用前景。哪家碳化硅襯底的質(zhì)量比較好。

到2023年，SiC功率半導體市場預計將達到15億美元。SiC器件的供應商包括富士、英飛凌、利特弗斯、三菱、安半導體、意法半導體、Rohm、東芝和Wolfspeed。Wolfspeed是CREE的一部分。電力電子在世界電力基礎設施中發(fā)揮著關鍵作用。該技術用于工業(yè)（電機驅(qū)動）、交通（汽車、火車）、計算（電源）和可再生能源（太陽能、風能）。電力電子設備在系統(tǒng)中轉(zhuǎn)換或轉(zhuǎn)換交流電和直流電（AC和DC）。對于這些應用，行業(yè)使用各種功率半導體。一些半功率晶體管是晶體管，在系統(tǒng)中用作開關。它們允許電源在“開啟”狀態(tài)動，并在“關閉”狀態(tài)下停止。蘇州高質(zhì)量的碳化硅襯底的公司。led碳化硅襯底導電

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不同的SiC多型體在半導體特性方面表現(xiàn)出各自的特性。利用SiC的這一特點可以制作SiC不同多型體間晶格完全匹配的異質(zhì)復合結構和超晶格，從而獲得性能較好的器件．其中6H-SiC結構為穩(wěn)定，適用于制造光電子器件：p-SiC比6H-SiC活潑，其電子遷移率比較高，飽和電子漂移速度快，擊穿電場強，較適宜于制造高溫、大功率、高頻器件，及其它薄膜材料(如A1N、GaN、金剛石等)的襯底和X射線的掩膜等。而且，β-SiC薄膜能在同屬立方晶系的Si襯底上生長，而Si襯底由于其面積大、質(zhì)量高、價格低，可與Si的平面工藝相兼容，所以后續(xù)PECVD制備的SiC薄膜主要是β-SiC薄膜江蘇n型碳化硅襯底

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