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成都進(jìn)口6寸半絕緣碳化硅襯底

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-03-18

新能源汽車是碳化硅功率器件市場(chǎng)的主要增長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)。SiC功率器件主要應(yīng)用于新能源車逆變器、DC/DC轉(zhuǎn)換器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和車載充電器(OBC)等電控領(lǐng)域,以完成較Si更高效的電能轉(zhuǎn)換。預(yù)計(jì)隨著新能源車需求快速爆發(fā),以及SiC襯底工藝成熟、帶來(lái)產(chǎn)業(yè)鏈降本增效,產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程有望提速。1)應(yīng)用端:解決電動(dòng)車?yán)m(xù)航痛點(diǎn)。據(jù)Wolfspeed測(cè)算,將純電動(dòng)汽車逆變器中的功率組件改成SiC時(shí),可降低電力電子系統(tǒng)的體積、重量和成本,提升車輛5%-10%的續(xù)航。據(jù)英飛凌測(cè)算,SiC器件整體損耗相比Si基器件降低80%以上,導(dǎo)通及開關(guān)損耗減小,有助于增加電動(dòng)車?yán)m(xù)航里程。蘇州質(zhì)量好的碳化硅襯底的公司聯(lián)系方式。成都進(jìn)口6寸半絕緣碳化硅襯底

    隨著全球電子信息及太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)對(duì)硅晶片需求量的快速增長(zhǎng),硅晶片線切割用碳化硅微粉的需求量也正在迅速增加。以碳化硅(SiC)及GaN為**的寬禁帶材料,是繼Si和GaAs之后的第三代半導(dǎo)體。與Si及GaAs相比,SiC具有寬禁帶、高熱導(dǎo)率、高擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高飽和電子漂移速率、化學(xué)性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。所以,SiC特別適合于制造高溫、高頻、高功率、抗輻射、抗腐蝕的電子器件。此外,六方SiC與GaN晶格和熱膨脹相匹配,也是制造高亮度GaN發(fā)光和激光二極管的理想襯底材料。SiC晶體目前主要應(yīng)用于光電器件如藍(lán)綠光發(fā)光二極管以及紫外光激光二極管和功率器件包括大功率肖托基二極管,MES晶體管微波器件等。進(jìn)口6寸led碳化硅襯底蘇州質(zhì)量好的碳化硅襯底的公司。

SiC電子器件是微電子器件領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一。SiC材料的擊穿電場(chǎng)有4MV/cm,很適合于制造高壓功率器件的有源層。而由于SiC襯底存在缺點(diǎn)等原因,將它直接用于器件制造時(shí),性能不好。SiC襯底經(jīng)過(guò)外延之后,其表面缺點(diǎn)減少,晶格排列整齊,表面形貌良好,比襯底大為改觀,此時(shí)將其用于制造器件可以提高器件的性能。為了提高擊穿電壓,厚的外延層、好的表面形貌和較低的摻雜濃度是必需的。一些高壓雙極性器件,需外延膜的厚度超過(guò)50μm,摻雜濃度小于2×1015cm-3,載流子壽命大過(guò)1us。對(duì)于高反壓大功率器件,需要要在4H-SiC襯底上外延一層很厚的、低摻雜濃度的外延層。為了制作10KW的大功率器件,外延層厚度要達(dá)到100μm以上。高壓、大電流、高可靠性SiC電子器件的不斷發(fā)展對(duì)SiC外延薄膜提出了更多苛刻的要求,需要通過(guò)進(jìn)一步深入的研究提高厚外延生長(zhǎng)技術(shù)。

功率半成品在成熟節(jié)點(diǎn)上制造。這些設(shè)備旨在提高系統(tǒng)的效率并將能量損失降至比較低。通常,它們的額定值是由電壓和其他規(guī)格決定的,而不是由工藝幾何形狀決定的。多年來(lái),占主導(dǎo)地位的功率半技術(shù)一直(現(xiàn)在仍然)基于硅,即功率MOSFET和絕緣柵雙極晶體管(IGBT)。功率MOSFET被認(rèn)為是低價(jià)、當(dāng)下流行的器件,用于適配器、電源和其他產(chǎn)品中。它們用于高達(dá)900伏的應(yīng)用中。在傳統(tǒng)的MOSFET器件中,源極和漏極位于器件的頂部。相比之下,功率MOSFET具有垂直結(jié)構(gòu),其中源極和漏極位于器件的相對(duì)側(cè)。垂直結(jié)構(gòu)使設(shè)備能夠處理更高的電壓。哪家碳化硅襯底的質(zhì)量比較好。

    碳化硅襯備技術(shù)包括PVT法(物相傳輸法)、溶液法和HTCVD法(高溫氣相化學(xué)沉積法)等,目前國(guó)際上基本采用PVT法制備碳化硅單晶。SiC單晶生長(zhǎng)經(jīng)歷3個(gè)階段,分別是Acheson法、Lely法、改良Lely法。利用SiC高溫升華分解特性,可采用升華法即Lely法來(lái)生長(zhǎng)SiC晶體,它是把SiC粉料放在石墨坩堝和多孔石墨管之間,在惰性氣體(氬氣)環(huán)境溫度為2500℃的條件下進(jìn)行升華生長(zhǎng),可以生成片狀SiC晶體。但Lely法為自發(fā)成核生長(zhǎng)方法,較難控制所生長(zhǎng)SiC晶體的晶型,且得到的晶體尺寸很小,后來(lái)又出現(xiàn)了改良的Lely法,即PVT法(物相傳輸法),其優(yōu)點(diǎn)在于:采用SiC籽晶控制所生長(zhǎng)晶體的晶型,克服了Lely法自發(fā)成核生長(zhǎng)的缺點(diǎn),可得到單一晶型的SiC單晶,且可生長(zhǎng)較大尺寸的SiC單晶。 蘇州高質(zhì)量的碳化硅襯底的公司。青島碳化硅襯底進(jìn)口6寸導(dǎo)電

哪家碳化硅襯底的質(zhì)量比較高?成都進(jìn)口6寸半絕緣碳化硅襯底

    隨著電力電子變換系統(tǒng)對(duì)于效率和體積提出更高的要求,SiC(碳化硅)將會(huì)是越來(lái)越合適的半導(dǎo)體器件。尤其針對(duì)光伏逆變器和UPS應(yīng)用,SiC器件是實(shí)現(xiàn)其高功率密度的一種非常有效的手段。由于SiC相對(duì)于Si的一些獨(dú)特性,對(duì)于SiC技術(shù)的研究,可以追溯到上世界70年代。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),SiC主要在以下3個(gè)方面具有明顯的優(yōu)勢(shì):擊穿電壓強(qiáng)度高(10倍于Si)更寬的能帶隙(3倍于Si)熱導(dǎo)率高(3倍于Si)這些特性使得SiC器件更適合應(yīng)用在高功率密度、高開關(guān)頻率的場(chǎng)合。當(dāng)然,這些特性也使得大規(guī)模生產(chǎn)面臨一些障礙,直到2000年初單晶SiC晶片出現(xiàn)才開始逐步量產(chǎn)。目前標(biāo)準(zhǔn)的是4英寸晶片,但是接下來(lái)6英寸晶片也要誕生,這會(huì)導(dǎo)致成本有顯著的下降。而相比之下,當(dāng)今12英寸的Si晶片已經(jīng)很普遍,如果預(yù)測(cè)沒有問(wèn)題的話,接下來(lái)4到5年的時(shí)間18英寸的Si晶片也會(huì)出現(xiàn)。 成都進(jìn)口6寸半絕緣碳化硅襯底

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