電子探針儀鏡筒部分的構造大體上和掃描電子顯微鏡相同,只是在檢測器部分使用的是X射線譜儀、專門用來檢測X射線的特征波長或特征能量,以此來對微區的化學成分進行分析。因此,除專門的電子探針儀外,有相當一部分電子探針儀是作為附件安裝在掃描電鏡或透射電鏡鏡筒上,以滿足微區組織形貌、晶體結構及化學成分三位一體同位分析的需要 [1]。用波長色散譜儀(或能量色散譜儀)和檢測計數系統,測量特征X射線的波長(或能量)和強度,即可鑒別元素的種類和濃度。電子探針的構成除了與掃描電鏡結構相似的主機系統以外,還主要包括分光系統、檢測系統等部分。徐匯區特制探針生產廠家
電子探針X射線顯微分析儀(簡稱電子探針)利用約1Pm的細焦電子束,在樣品表層微區內激發元素的特征X射線,根據特征X射線的波長和強度,進行微區化學成分定性或定量分析。電子探針的光學系統、真空系統等部分與掃描電鏡基本相同,通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器,同時兼有組織形貌和微區成分分析兩方面的功能。電子探針的構成除了與掃描電鏡結構相似的主機系統以外,還主要包括分光系統、檢測系統等部分。電子探針主要由電子光學系統(鏡筒),X射線譜儀和信息記錄顯示系統組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學系統的構造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。崇明區標準探針現價電子探針和掃描電鏡在電子光學系統的構造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。
缺口平移法是**常用的探針標記法,反應體系的主要成分有DNA酶I(DNase I)、大腸桿菌DNA聚合酶I(DNA polymerase I)、三種三磷酸脫氧核糖核苷酸、一種同位素標記的核苷酸(如dATP、dTTP、dCTP,”P—dGTP),其原理如圖1。首先用適當濃度的DNA酶I在探針DNA雙鏈分子上隨機切開若干個缺口(不是切斷DNA或將其降解),然后再借助于DNA聚合酶I的5 '→3'的外切酶活性,切去5’末端的核苷酸;同時又利用該酶的5’→3’聚合酶活性,使32P標記的互補核苷酸補入缺口.DNA聚合酶I的這兩種活性的交替作用,使缺口不斷向3’的方向移動,DNA鏈上的核苷酸不斷為32P標記的核苷酸所取代。由于反應體系中含有同位素標記的單核苷酸,使新合成的鏈帶有同位素標記,所以缺口平移實際上是同位素標記的核苷酸取代了原DNA鏈中不帶同位素的同種核苷酸。
該系統為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量,足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,作為X射線的激發源。為此,一般也采用鎢絲熱發射電子槍和2-3個聚光鏡的結構。 為了提高X射線的信號強度,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),常用的加速電壓為10-30 KV,束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是,先利用能發出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,這是就能觀察到電子束轟擊點的位置,通過樣品移動裝置把它調到光學顯微鏡目鏡十字線交叉點上,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上,同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學顯微鏡是同軸反射式物鏡,其優點是光學觀察和X射線分析可同時進行。放大倍數為100-500倍。不隨意安裝非正規商家應用App、及各類廣告插件App,使用正規合法App是保護個人信息;
電子探針可以對試樣中微小區域(微米級)的化學組成進行定性或定量分析。可以進行點、線掃描(得到層成分分布信息)、面掃描分析(得到成分面分布圖像)。還能全自動進行批量(預置9999測試點)定量分析。由于電子探針技術具有操作迅速簡便(相對復雜的化學分析方法而言)、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點,故在冶金、地質、電子材料、生物、醫學、考古以及其它領域中得到日益***地應用,是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。探針卡是IC制造中對制造成本影響相當大的重要制程之一。崇明區優勢探針商家
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2.界面探針(Interface Probes)非標準的探針,一般是為少數做大型測試機臺的客戶定做的,例如泰瑞達(Teradyne)和安捷倫(Agilent).用于測試機臺與測試夾具的接觸點和面.3.微型探針(MicroSeries Probes)兩個測試點中心間距一般為0.25mm至0.76mm.4.開關探針(Switch Probes)開關探針單獨一支探針有兩路電流.5.高頻探針(Coaxial Probes)用于測試高頻信號,有帶屏蔽圈的可測試10GHz以內的和500MHz不帶屏蔽圈的.6.旋轉探針(Rotator Probes)彈力一般不高,因為其穿透性本來就很強,一般用于OSP處理過的PCBA測試.徐匯區特制探針生產廠家
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