氣體質量流量控制器在半導體集成電路工藝電路及光纖熔煉等方面的應用打破了行業的固有發展模式。特別是某些服務完善的氣體質量流量控制器的普及與應用促使行業的加工工藝發生了重大變革,氣體質量流量控制器出廠前需滿足耐氣壓要求:據市場反饋不同種類的氣體質量流量控制器具有不同的耐氣壓要求。據統計流量控制器的耐氣壓分為1MPa、3MPa、10Mpa這三種,現今較為常用的是10Mpa的差壓氣體質量流量控制器,它可通過流體流經節流裝置時管道所產生的壓力差作為流量測量的依據。氣體質量流量控制器常見類型有熱式流量計。北京氣體質量流量控制器技術支持
客戶在使用氣體質量流量控制器/計時,對于氣體的要求:1,氣體必須潔凈并且沒有顆粒物,沒有液體,這就要求在氣體質量流量控制器/計的上游氣路中安裝<30μm的過濾器。2,輸入的氣體壓力必須符合產品的耐壓標準,不可以超過氣體質量流量控制器/計要求的壓力。3、氣體質量流量控制器/計使用的氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應,用戶有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產品會使保修無效,由于不正確的使用所導致的損害不能歸咎于廠家。北京氣體質量流量控制器技術支持氣體質量流量控制器可靠性高。
氣體質量流量控制器中不小心滲入液體的原因有很多,例如:環境監測站要對各種天氣條件下的空氣質量進行監測,下雨、結霜、融雪都可能使水汽進入氣體質量流量控制器;燃料電池應用通過混合氧氣與氫氣來生成水,整個過程中極易引入水汽等。常規熱式氣體質量流量控制器內的傳感器被設置為氣體通過時將氣體溫度升高至一指定范圍,由于液體的導熱能力比氣體強,所以即便只是瞬間、微量的液體出現于氣路中,也會使得內部元件迅速冷卻。當探測到溫度下降,溫度調節器便會耗費更多功率將其加熱至規定溫度,以致電子部件迅速燒毀。
能在熱噴涂工藝中使用的熱式氣體質量流量控制器主要優點就是流量的穩定性和重復性以及提高過程操作的自動化程度,可以有助于數據的采集以及計算機的控制這部分的過程。氣體質量流量控制器采用進口標準的全新技術,新型的傳感制作工藝,兼容模擬或是數字通訊的方式,有著更快的響應速度,更加穩定的控制,更廣的測量范圍是熱式氣體質量流量控制器的主要優勢。可以更好保證流量測控的穩定以及更快的相應速度,支持本地和遠程操作控制模式。氣體質量流量控制器可應用于泄露監測。
熱式氣體質量流量控制器結構型式的多樣靈活,可滿足使用現場的不同需求。產品能自動控制氣體流量,用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,,也不會使其偏離設定值。氣體流量傳感器采用熱導原理測量氣體的質量流量,微處理器采集傳感器加熱電橋測得的流量信號并與設定值進行比較,再將差值信號輸出放大后去控制調節閥門,微處理器內置PID控制程序,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。熱式氣體質量流量控制器是帶有控制閥門的產品,在使用時對初始壓力有要求。湖南MD30M氣體質量流量控制器廠家
數字型氣體質量流量控制器能在正常工業環境中測控和控制氣體的質量流量,還能集成到各種自動化設備中使用。北京氣體質量流量控制器技術支持
氣體質量流量控制器,即MassflowController(縮寫為MFC),不但具有質量流量計的功能,它本身還能夠自動控制氣體的流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動的將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度變化,也不會使其偏離其設定值。簡單的說,氣體質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩流裝置。氣體流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。對于多數氣體測量控制系統而言,很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。北京氣體質量流量控制器技術支持
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