工業和科研實驗室經常會使用到氣體質量流量控制器,本裝置主要是通過控制氣體流量的大小來進行一個氣體濃度的調節,那么用戶在選擇氣體配比裝置時,關于氣體的總流量大小應該如何確認和選擇呢?有沒有什么簡單的測量方法?第1種情況:用戶在明確知道所需總流量和濃度的情況下,只需要向公司的銷售和技術人員說明即可。第2種情況:用戶只知道流量但是不知道濃度的情況下,我公司產品可按照比例范圍或流量大小,直接開放濃度稀釋設置,用戶在使用時自行調節設置濃度即可。第3種情況:用戶只知道濃度稀釋范圍,但是不知道流量大小,公司技術人員可根據現場使用工裝或用簡易的流量測量方式,即可確定流量。氣體質量流量控制器采用熱式原理,響應快,精度高。重慶模擬氣體質量流量控制器技術支持
氣體質量流量控制器的工作原理是:氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道,其中很小一部分進入傳感器內部的毛細鋼管。出于分流器通道的特殊結構,可以實現這兩部分氣體流量成正比例關系。傳感器經過預熱加溫,里而的溫度高于進入的氣流溫度,此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經過放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較,以此為基礎控制調節閥,使得流量檢測信號與設定信號相等,這樣便實現了MFC的功能。重慶模擬氣體質量流量控制器技術支持氣體質量流量控制器常見類型有渦輪流量計。
為什么等離子設備上需要使用熱式氣體質量流量控制器?隨著等離子行業的快速發展,熱式氣體質量流量控制器在各種等離子設備中普遍使用,熱式氣體質量流量計的主要作用是準確的控制和調節氣體的進氣流量,等離子設備中需要注入和填充的混合氣體,以保證更好的產品性能,就需要更高精度和穩定性好的氣體質量流量控制器。等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質。
熱式氣體質量流量控制器在使用過程中,不通氣應該怎么處理?首先先檢查一下產品的針腳接線定義是否對應,以及產品是否正常供電,排除以上原因后,在檢查產品的進氣壓力是多少?因為熱式氣體質量流量控制器是帶有控制閥門的產品,在使用時對初始壓力有要求,而且流量控制器的進氣和出氣兩端的壓力差值,也必須保證在一個正常的工作壓差值范圍內才行。壓差過小的話,就會導致閥門無法正常開啟,氣體流通不過去。如果是壓力過大的話,會讓閥門處于全開狀態而達不到控制的目的。當氣體質量流量控制器處于清洗狀態時,可以當質量流量計使用。
客戶在使用氣體質量流量控制器/計時,對于氣體的要求:1,氣體必須潔凈并且沒有顆粒物,沒有液體,這就要求在氣體質量流量控制器/計的上游氣路中安裝<30μm的過濾器。2,輸入的氣體壓力必須符合產品的耐壓標準,不可以超過氣體質量流量控制器/計要求的壓力。3、氣體質量流量控制器/計使用的氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應,用戶有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產品會使保修無效,由于不正確的使用所導致的損害不能歸咎于廠家。氣體質量流量控制器高壓條件下正常使用需要注意在MFC下游加背壓閥,穩定反應室和MFC出口的氣壓。廣東M3030VA氣體質量流量控制器哪家質量好
氣體質量流量控制器可實現多種通訊方式及客戶定制的I/O功能。重慶模擬氣體質量流量控制器技術支持
怎么樣來區分熱式氣體質量流量控制器和質量流量計呢?熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件,一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時,電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的質量流量成正比。它是氣體流量計量中新型儀表,不需要進行壓力和溫度修正是區別于其它氣體流量計重要指標,能直接測量氣體的質量流量,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。可用于控制一般的腐蝕性氣體,正常使用時應保證進出氣兩端的壓差在技術指標范圍之內,低于或高于正常工作壓差都可導致氣體質量流量控制器無法正常使用。熱式氣體質量流量控制器(MFC)多用于氣體動態配比裝置、環境檢測、真空鍍膜、航空航天、光伏行業、精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、食品及制藥產業、氣相色譜儀等相關行業。重慶模擬氣體質量流量控制器技術支持