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來源: 發(fā)布時間:2022-02-09

    因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。凈化工程單向流潔凈室單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^濾器向室內(nèi)送風。氣流有如一個空氣活塞,向***經(jīng)室內(nèi),帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至高效過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣***掉,而紊流通風系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風速,就可以很快將污染物***。但在一個操作間,機器以及機器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。瀏陽小型提供施工設(shè)備服務(wù)比較價格

    和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干。對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準,采用.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風速的可行性。在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥水平平行流(層流)潔凈室≥m/s噪聲控制潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準,目的在于保障操作正常進行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是:1.煩惱的效應(yīng)由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。2.對工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個方面是:集中精神,動作準確性,工作速度。芙蓉區(qū)大型提供施工設(shè)備服務(wù)價目因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混。

    MixedType)復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易;B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用**之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。

    所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。在潔凈室內(nèi)靜電導致的事故有以下幾方面;1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏;3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;4.靜電放電的發(fā)光可導致照相肢片等感光破壞;5.靜電的力學現(xiàn)象可導致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨。凈化工程單向流潔凈室單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。

    已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于**地位。光學微電子凈化工程一般包括:1、潔凈生產(chǎn)區(qū)2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息)4、設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)材料1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用**氧化鋁型材制造。2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。光學微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強對光學微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。長沙工程提供施工設(shè)備服務(wù)私人定做

對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。瀏陽小型提供施工設(shè)備服務(wù)比較價格

    往往須耗時相當長一段時間。層流式(Laminar)等級名稱等級限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在***側(cè)污染較嚴重。優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。亂流式優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。復合式。瀏陽小型提供施工設(shè)備服務(wù)比較價格

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