如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以***。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產**佳濕度范圍為35—45%。氣壓規定對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈室中的氣流速度規定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內氣流速度也有如下要求；(1)送風口出口氣流速度不宜太大。在垂直流系統中，氣流是從吊頂流向地面。天心區什么潔凈凈化工程執行標準

    和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干。對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準，采用．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，為了節能，也都在探求降低風速的可行性。在我國，《空氣潔凈技術措施》和(潔凈廠房設計規范）都是這樣規定的垂直平行流（層流）潔凈室≥水平平行流（層流）潔凈室≥m/s噪聲控制潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進行，滿足必要的談話聯系及安全舒適的工作環境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：1．煩惱的效應由于噪聲，使人感到不安寧而產生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。2．對工作效率的影響這主要看三方面的反應水平，這三個方面是：集中精神，動作準確性，工作速度。雨花區特定潔凈凈化工程服務以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。

    凈化工程是指控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。中文名凈化工程外文名Purificationengineering工程性質環境保護應用制造業原理亂流潔凈室，單向流潔凈室作用控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度目錄1原理?亂流潔凈室?單向流潔凈室2控制3作用4分類5等級標準6行業應用7解決方案凈化工程原理編輯語音凈化工程亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔凈室的流態實質是：突變流；非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更***。紊流主要決定于雷諾數，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。

    往往須耗時相當長一段時間。層流式(Laminar)等級名稱等級限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在***側污染較嚴重。優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。亂流式優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。復合式。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況。

    3．對綜合通訊的干擾這主要分為：清楚或滿意，稍困難，困難，不可能對以上三方面指標都用A聲級來評價。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標準即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺適，可以代替倍頻帶聲壓級作為評價標準的指標。向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式：(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個被照面積而設置的照明。(2)局部照明這是指為增加某一指定地點（如工作點）的照度而設置的照明。但在室內照明由一般不單獨使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設計規范》應占總照度的10%—15%，但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國外潔凈室的強度要求極高，例如美國關于潔凈室的幾個標準的要求是．人工光300lx有較好的效果，當工件精細程度更高時，500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業的光刻車間，其照度一般為(25—501x)，用天然光時可允許更高的照度，因而對工作是有利的。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。長沙縣工業潔凈凈化工程大小

凈化工程單向流潔凈室單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。天心區什么潔凈凈化工程執行標準

    所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，這也是為了節能而出現的一種動向。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一）電荷等量的均勻的電中性狀態，而使電荷過剩，物體呈帶電狀態，由于這些電荷平時是不流動的，故稱靜電。在潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面；1．靜電電引起的靜電電擊，引起人的不安全和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；2．靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；3．靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；4．靜電放電的發光可導致照相肢片等感光破壞；5．靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨。天心區什么潔凈凈化工程執行標準

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