如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以***。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產**佳濕度范圍為35—45%。氣壓規定對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈室中的氣流速度規定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;(1)送風口出口氣流速度不宜太大。凈化工程單向流潔凈室單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。望城區安裝提供施工設備服務是什么
室內相對濕度偏低,達不到設計要求。有的工廠為了簡便和省錢,在原空調器內增加濕膜或噴霧進行加濕以加大加濕量。但是,事與愿違,不但加不進去濕量而且加進去的還會很快飽和變為凝結水析出來,而達不到加濕目的。因為,濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程,加濕前的空調空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達到加濕目的。如果不進行加熱是不可行的。在加濕問題上還有一個應注意的問題就是空調器內空氣流動帶水的問題。有的工程中由于加濕的帶水問題沒有處理好,結果后面的中效過濾器甚至高效過濾器都被攜帶的水打濕了。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結水管的坡度和坡向問題,要使凝結水迅速地排到空調器外。若加濕器設在空調器的風機段內,還應采取措施避免凝結水滴到電機上,造成電機短路斷電。光學微電子凈化工程-潔凈車間技術解決方案光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室。雨花區工程提供施工設備服務概念由滿布潔凈室吊頂的高效過濾器向室內送風。
凈化工程是指控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。中文名凈化工程外文名Purificationengineering工程性質環境保護應用制造業原理亂流潔凈室,單向流潔凈室作用控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度目錄1原理?亂流潔凈室?單向流潔凈室2控制3作用4分類5等級標準6行業應用7解決方案凈化工程原理編輯語音凈化工程亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流(從送風口到回風口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以,送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔凈室的流態實質是:突變流;非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更***。紊流主要決定于雷諾數,也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式,則即使流速極低,也要產生上述各種結果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。
MixedType)復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易;B.維修設備時可在維修區輕易執行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為**適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用**之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況。
已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于**地位。光學微電子凈化工程一般包括:1、潔凈生產區2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)3、管理區(包括辦公、值班、管理和休息)4、設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)材料1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用**氧化鋁型材制造。2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。光學微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設計過程中,應加強對光學微電子行業凈化工程設計方案分析了解。在水平流系統中,氣流是從一面墻流向另一面墻。望城區安裝提供施工設備服務是什么
這就因為它是一個突變流和非均勻流。望城區安裝提供施工設備服務是什么
由于風速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風速保持在(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復,充分稀釋障礙物周圍紊流區的污染。用風速可以正確地表示出單向流,因為風速越高室內就越潔凈。而每小時換氣次數與房間的體積有關,如吊頂的高低,因此不適合用來表示單向流。單向流室內的送風量是紊流室的很多倍(10到100倍)。凈化工程控制編輯語音潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露。望城區安裝提供施工設備服務是什么
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