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瀏陽私人潔凈凈化工程施工執行標準

來源: 發布時間:2022-04-19

    液晶面板已經升級至第八代,行業需求非常巨大。凈化工程解決方案編輯語音大部分凈化廠房尤其電子工業用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此,在凈化空調系統的空氣處理上要采取相應的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因為夏季室外空氣是高溫、高濕的),冬季要加熱加濕(因為冬季室外空氣是寒冷干燥的,室內濕度過低會產生靜電,靜電對電子產品的生產是致命的)。對于凈化空調系統的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調送風中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。從確保潔凈室內相對濕度的精度而言,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,故當潔凈室內相對濕度精度要求≤±10%時**好不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題,并非噴入空調箱內的蒸汽全部加入到空調送風中,而其中有一部分變成凝結水排放出來。因此。在水平流系統中,氣流是從一面墻流向另一面墻。瀏陽私人潔凈凈化工程施工執行標準

    往往須耗時相當長一段時間。層流式(Laminar)等級名稱等級限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在***側污染較嚴重。優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。亂流式優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。復合式。雨花區品質潔凈凈化工程施工價格大全因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混。

    噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產生靜電,在一般情況下,越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產生后不易流動,因此表現為越容易帶電。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重,是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災害未被重視以前,這些材料料是被***采用的。凈化工程作用編輯語音控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。凈化工程分類編輯語音亂流式(TurbulentFlow)亂流式空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再***,欲達需求之潔凈度。

    MixedType)復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易;B.維修設備時可在維修區輕易執行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為**適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用**之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。由滿布潔凈室吊頂的高效過濾器向室內送風。

    由于風速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風速保持在(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復,充分稀釋障礙物周圍紊流區的污染。用風速可以正確地表示出單向流,因為風速越高室內就越潔凈。而每小時換氣次數與房間的體積有關,如吊頂的高低,因此不適合用來表示單向流。單向流室內的送風量是紊流室的很多倍(10到100倍)。凈化工程控制編輯語音潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露。凈化工程是指控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度。雨花區品質潔凈凈化工程施工價格大全

使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。瀏陽私人潔凈凈化工程施工執行標準

    室內相對濕度偏低,達不到設計要求。有的工廠為了簡便和省錢,在原空調器內增加濕膜或噴霧進行加濕以加大加濕量。但是,事與愿違,不但加不進去濕量而且加進去的還會很快飽和變為凝結水析出來,而達不到加濕目的。因為,濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程,加濕前的空調空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達到加濕目的。如果不進行加熱是不可行的。在加濕問題上還有一個應注意的問題就是空調器內空氣流動帶水的問題。有的工程中由于加濕的帶水問題沒有處理好,結果后面的中效過濾器甚至高效過濾器都被攜帶的水打濕了。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結水管的坡度和坡向問題,要使凝結水迅速地排到空調器外。若加濕器設在空調器的風機段內,還應采取措施避免凝結水滴到電機上,造成電機短路斷電。光學微電子凈化工程-潔凈車間技術解決方案光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室。瀏陽私人潔凈凈化工程施工執行標準

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