在半導(dǎo)體行業(yè)，直線電機因其高精度、高速度、高加速度和長行程等特點，被廣泛應(yīng)用于多個制造和加工環(huán)節(jié)。以下是一些具體的應(yīng)用場景：

晶圓制造：①晶圓切割：直線電機用于晶圓切割機的精確控制，確保晶圓切割的精度和效率。②晶圓清洗：在晶圓清洗設(shè)備中，直線電機用于控制清洗頭的運動，以實現(xiàn)均勻清洗。

光刻：①光刻機：直線電機用于光刻機的曝光系統(tǒng)，精確控制掩模對晶圓的定位和曝光，以實現(xiàn)微米級甚至納米級的圖案轉(zhuǎn)移。

硅片加工：①蝕刻機：直線電機用于蝕刻機的硅片傳輸和定位，確保蝕刻過程的高精度。②離子注入：在離子注入機中，直線電機用于精確控制離子束對晶圓的注入角度和位置。

芯片封裝：①芯片貼裝：直線電機用于芯片貼裝機，精確地將芯片放置到引線框架或基板上。②打線機：在打線機中，直線電機用于精確控制打線頭，將金線或銅線連接到芯片的焊盤上。 TOYO機器人，準確定位，快速完成生產(chǎn)作業(yè)。多軸模組系列TOYO機器人大理石平臺

TOYO直線模組支持多軸聯(lián)動控制，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜的運動軌跡。例如，在3D打印設(shè)備或數(shù)控機床中，多軸聯(lián)動的直線模組可以精確控制工具頭的運動路徑，從而完成復(fù)雜的加工任務(wù)。這種多軸聯(lián)動能力極大地擴展了直線模組的應(yīng)用范圍。環(huán)境適應(yīng)性：TOYO直線模組具有良好的環(huán)境適應(yīng)性，能夠在高溫、低溫、潮濕或粉塵較多的環(huán)境中穩(wěn)定運行。例如，在食品加工行業(yè)中，直線模組需要經(jīng)常接觸水或蒸汽，TOYO的防水防塵設(shè)計確保了其在惡劣環(huán)境中的可靠性。奈米定位平臺系列TOYO機器人龍門模組TOYO驅(qū)動器支持IO、脈沖、RS485和EC通訊（選配）。

XC100驅(qū)動器的特點支持IO控制、RS485控制、脈沖控制、EtherCAT控制（需要選配，XC100E）

使用XC100驅(qū)動器時需搭配軟件TOYO-Single使用，可以通過該軟件控制軸運動、修改參數(shù)、設(shè)置點位、監(jiān)控信號/數(shù)據(jù)。

XC100驅(qū)動器支持不外接傳感器的情況下實現(xiàn)回零操作（通過扭力判斷是否到達原點），同時輸出回原完成信號。XC100驅(qū)動器可以通過軟件設(shè)置行程軟限位，限位到達會有限位報警（無法判斷正限位/負限位）。

XC100驅(qū)動器輸入點位有14個，輸出點位有10個，只支持NPN接線方式。

XC100驅(qū)動器編碼器為增量式，斷電位置會丟失，每次斷電重啟需回原操作。

XC100可實現(xiàn)扭力控制，動作時達到設(shè)定的扭力即動作完成。

XC100支持集電極控制與差分控制，集電極控制容易受干擾，建議使用差分控制。

TOYO直線電機分類：有鐵芯平板型直線電機、無鐵芯U型直線電機、軸棒型直線電機。有鐵芯平板型直線電機分為：G系列與一般系列；G系列：速度可達：2500mm/s，水平負載：3-20KG，行程可達：2520mm，精度：±1~2μ。一般系列：速度可達：2500mm/s，水平負載：20-120KG，行程可達：8000mm，精度：±1~2μ。無鐵芯U型直線電機：速度可達：2500mm/s，水平負載：4-15KG，行程可達：1290mm，精度：±1~2μ。軸棒型直線電機：速度可達：2500mm/s，水平負載：15-51KG，行程可達：1940mm，精度：±1~2μ。TOYO大理石平臺為半導(dǎo)體設(shè)備提供精度保證！

TOYO直線模組在設(shè)計和制造過程中充分考慮了噪音控制問題，采用了低摩擦的導(dǎo)軌和滑塊材料，以及優(yōu)化的傳動系統(tǒng)。這種低噪音特性使其適用于對工作環(huán)境噪音要求較高的場景，例如醫(yī)療設(shè)備、實驗室儀器和辦公自動化設(shè)備。TOYO直線模組的關(guān)鍵部件采用了耐磨材料和先進的表面處理技術(shù)，能夠在長時間運行中保持穩(wěn)定的性能。此外，其密封設(shè)計有效防止了灰塵和雜質(zhì)的侵入，減少了維護頻率和成本。長壽命和低維護特性使其成為高負荷生產(chǎn)環(huán)境中的理想選擇。以科技為動力，TOYO機器人推動工業(yè)自動化發(fā)展。高精密TOYO機器人氣浮平臺

TOYO機器人，高效準確，為企業(yè)創(chuàng)造非凡生產(chǎn)效益。多軸模組系列TOYO機器人大理石平臺

TOYO 機器人以其非凡的精度而聞名。在制造和裝配等任務(wù)中，能夠?qū)崿F(xiàn)精確到毫米甚至更小的操作精度。這使得它在電子產(chǎn)品制造、精密機械加工等領(lǐng)域具有巨大優(yōu)勢。例如，在手機電路板的組裝過程中，TOYO 機器人可以準確地將微小的電子元件放置在特定位置，確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能。高速度也是 TOYO 機器人的一大特點。它能夠快速地完成各種動作，提高生產(chǎn)效率。在汽車制造行業(yè)，TOYO 機器人可以在短時間內(nèi)完成車身焊接、零部件安裝等任務(wù)，滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。多軸模組系列TOYO機器人大理石平臺