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美國ALICAT艾里卡特MCES系列防腐蝕半標準氣體質量流量控制器MCES系列防腐蝕半標準氣體質量流量控制器  配備1/4英寸的錄像機配件,并與半標準的MFCS進行端到端匹配,便于對真空沉積裝置進行升級。控制128+氣體的質量流量或壓力,包括30+腐蝕劑.插入兼容性。 形式因數包括1/4英寸VCR焊接配件和符合124毫米半標準MFCS端到端長度。有攻擊性的氣體相容性。 與30+純腐蝕性氣體和大多數制冷氣體相容的濕材料.多才多藝,準確。 對128+氣體和20個定制氣體混合物進行實時控制,可追蹤精度為:大于0.5%的讀數或大于0.1%的全尺度。容易融合。美國艾里卡特ALICAT氣體質量流量計 SZ020-LL1-E-L-C13-DI4-DB9M-050-5-104 瑞士DIGMESA流量計 938-6300/EE264.

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