真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1、后門設(shè)計熱風(fēng)電機2、降溫時風(fēng)機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級；10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）上海哪家的工業(yè)烤箱比較好？安徽工業(yè)烤箱的工廠

高溫?zé)o氧固化烘箱用途介紹：無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。1、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃；1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：1℃；2.3溫度均勻度：2%℃（260℃平臺）；安徽工業(yè)烤箱銷售價格工業(yè)烤箱的特點是什么？合肥真萍告訴您。

用途介紹：無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。1、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃；1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：1℃；2.3溫度均勻度：2%℃（260℃平臺）；

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的應(yīng)用范圍。

潔凈烘箱，本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。箱體結(jié)構(gòu)：1烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風(fēng)道部分，塵埃物過濾部分，N2進氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，內(nèi)膽材料：采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費。4電熱部分：采用進口覆套式電熱器（SHEATHEDHEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分：整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設(shè)計)過濾效果可達99.99%,Class100；可靠先進的測控系統(tǒng)1溫度控制裝置：日本進口溫控器，內(nèi)置PID自動整定，斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置：采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印。合肥真萍告訴您使用工業(yè)烤箱的便捷性。無塵工業(yè)烤箱標(biāo)準(zhǔn)

工業(yè)烤箱對如今市場的影響。安徽工業(yè)烤箱的工廠

優(yōu)良連續(xù)爐的適用范圍：連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐，是指連續(xù)地或間歇地裝料，工件在爐內(nèi)不斷移動，完成加熱、保溫，有時包括冷卻在內(nèi)全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機械機構(gòu)連續(xù)地或間歇地進行裝料和出料，連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量，提高勞動生產(chǎn)率和改善勞動條件。優(yōu)良連續(xù)爐的產(chǎn)品特性：1、采用智能型溫度控制模塊，PID自動演算，LED顯示，配合SSR大功率可控硅輸出，能控制溫度之精細度；2、分段控制（當(dāng)?shù)竭_設(shè)定溫度時可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管，降低加熱功率，其達到省電效果）3、內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵，防生銹、耐腐蝕)，外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好)；4、整機控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制，設(shè)備加熱、運風(fēng)、傳動、自動門開關(guān)均采用智能控制，防止失誤動作；5、當(dāng)實際檢測溫度超過超溫保護溫控器設(shè)定值時，自動切斷加熱電源，起到雙重保護功能。安徽工業(yè)烤箱的工廠

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