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精密工業(yè)烤箱標準

來源: 發(fā)布時間:2021-09-06

HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱如何去使用呢?精密工業(yè)烤箱標準

通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式,熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計算,風源是由送風馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)由電熱器,將熱風送至風道后進入烘箱工作室,且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱運用,如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關(guān),可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu),殼體為角鋼薄鋼板,內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì)。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。淮安工業(yè)烤箱多少錢一臺工業(yè)烤箱怎樣使用?合肥真萍告訴您。

真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術(shù)指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)

真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜。一、氮氣監(jiān)控系統(tǒng):1.1、2.3”LED大屏幕數(shù)字顯示濕度/溫度。1.2、溫濕度顯示值0.1%-99.9%RH,溫度顯示值0.1℃-60.0℃。1.3、溫濕度收集采準確傳感器,長距離傳輸無誤差。1.4、濕度控制:2.4.1利用濕度設定值來控制氮氣流入,到達濕度設定值即停止進氣,節(jié)省氮氣耗用。2.4.2濕度在1%-60%RH可調(diào)整。1.5、溫濕度記錄功能:2.5.1內(nèi)建內(nèi)存,可儲存溫度/濕度,收集時間1~240分鐘可自行設定。2.5.2可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。2.5.3品管記錄格式設計,有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持數(shù)據(jù)庫檔案格式。1.6、濕度警報系統(tǒng):1.6.1可設定啟動警報的濕度值及條件,內(nèi)配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。1.6.2可另外選配積層式警示燈。1.7、溫濕度偏移校正功能:內(nèi)建校正功能,確保顯示準確度。工業(yè)烤箱常見的用途有哪些?合肥真萍告訴您。

可定制高溫烘箱溫度控制系統(tǒng):1、采用數(shù)顯微電腦溫度控制器,控制精確可靠,精度:0.1℃(顯示范圍)。2、具有定時功能、控溫保護功能,設有風機停轉(zhuǎn)開關(guān)。電氣控制系統(tǒng):1、采用品牌電氣控制元件。2、電氣線路設計實用,合理布線,可靠放心。3、箱體頂部為電器控制柜,方便于集中檢查維修。保護系統(tǒng)1、超溫保護系統(tǒng)2、過電流保護3、快速熔斷器4、接地保護可選擇配件(需另外收費,訂購時請注意)1、可編程控制器,可實現(xiàn)升溫速率可調(diào)和保溫時間可調(diào),多段可編程。2、單獨限溫控制器,可實現(xiàn)在主控制器失靈后設備升溫過高的情況下立即切斷加熱。3、無紙記錄儀,通過USB接口將其記錄的數(shù)據(jù)導入計算機可供分析、打印等,是有紙記錄儀的更新?lián)Q代產(chǎn)品,多通道溫度記錄。4、配RS-485接口,可連接計算機和記錄儀,實現(xiàn)時時監(jiān)控工作狀態(tài)。5、溫度測試孔,可實現(xiàn)不同測試線或儀器插入設備工作室內(nèi)進行多種實驗,測試孔孔徑有φ25、φ50、φ80可選。6、載物托架,烘箱設備標配是2個載物托架,客戶可根據(jù)自身需求增配托架數(shù)量。*技術(shù)細節(jié)變動之處,恕不另行通知,具體設備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準。工業(yè)烤箱的原理是什么?合肥真萍告訴您。哪里有工業(yè)烤箱非標定制

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交通運輸是國民經(jīng)濟的重要組成部分,是保證人們在經(jīng)濟、文化等方面聯(lián)系交往的手段,也是銜接生產(chǎn)和消費的一個重要環(huán)節(jié)。因此,交通運輸業(yè)在現(xiàn)代社會的各個方面起著十分重要的作用。從國際交通的發(fā)展來看,早在二十世紀三四十年代,發(fā)達地區(qū)的鐵路網(wǎng)和公路網(wǎng)就已經(jīng)基本形成,而現(xiàn)今他們所追求的則是通過降低車輛能耗、提升物流水平而實現(xiàn)的可持續(xù)發(fā)展交通。可見與國際交通模式相比,我國有限責任公司(自然)企業(yè)則在綜合規(guī)劃、實際建設甚至交通領域的技術(shù)、服務等各方面均存在較大差距。交通強國戰(zhàn)略是對電子科技,機械科技,機電科技,電氣科技工作的總要求,為我國電子科技,機械科技,機電科技,電氣科技發(fā)展指明了目標明確了方向。交通強國建設涉及方方面面,是一項復雜艱巨的系統(tǒng)工程,需要統(tǒng)籌謀劃,協(xié)同推進。貿(mào)易型的優(yōu)化升級,表明我國車聯(lián)網(wǎng)市場蘊含著巨大空間。與此同時,相關(guān)部門已經(jīng)明確相關(guān)政策,大力支持車聯(lián)網(wǎng)發(fā)展。而且不少企業(yè)對于這次貿(mào)易型和車聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合都抱有強大的信心。精密工業(yè)烤箱標準

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