本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。試驗(yàn)箱的特點(diǎn)是什么?合肥真萍告訴您。銷售試驗(yàn)箱安裝廠家
下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來(lái)石材料砌筑而成有效尺寸:φ300320mm(DH)設(shè)備重量:約1200Kg外觀顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍(lán)外形尺寸:W1300H2200D1510(mm),不含(囪、指示燈)二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度:1550℃2.限制溫度:1600℃3.加熱元件:U型硅鉬棒4.加熱功率:16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個(gè)數(shù):1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù):1點(diǎn)8.熱偶:B分度9.程序**精度:2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)10.控溫穩(wěn)定度:1℃(恒溫平臺(tái))11.爐膛溫度均勻度:4℃(恒溫1500℃,2h)高低溫交變?cè)囼?yàn)箱廠家直銷價(jià)格試驗(yàn)箱怎樣使用?合肥真萍告訴您。
超高真空烘箱被廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,以確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項(xiàng)或同時(shí)作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的主要技術(shù)指標(biāo)。1.工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2.溫度波動(dòng)度:±1.0℃(空載);3.溫度偏差:常壓溫度試驗(yàn):常溫~200℃時(shí)±2℃200~300℃時(shí)±5.0℃低氣壓高溫綜合試驗(yàn):≤100℃時(shí)±2.0℃,100℃~200℃時(shí)±5.0℃200℃~300℃時(shí)±7.0℃
精密鼓風(fēng)烘箱適用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對(duì)溫度均勻性要求比較嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.門與門框之間采用高性能密封材料及獨(dú)特的橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、耐高溫性、抗老化性好。2.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng),不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成,置于箱體背部的電加熱器熱量通過(guò)側(cè)面風(fēng)道向前排出,經(jīng)過(guò)干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入,形成合理的風(fēng)道,能使熱空氣充分對(duì)流,使箱內(nèi)溫度相當(dāng)大限度達(dá)到均勻。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。3.加熱器用不銹鋼電加熱管,升溫快,壽命長(zhǎng)。試驗(yàn)箱怎樣挑選比較好?
電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.本烘箱由室體、加熱系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)等組成。2.箱體采用先進(jìn)設(shè)備制作、業(yè)內(nèi)的制造工藝流程、線條流暢、美觀大方。3.工作室材質(zhì)為不銹鋼、外箱材質(zhì)為優(yōu)良冷軋鋼板,產(chǎn)品外殼使用環(huán)保金屬漆噴制,整體設(shè)計(jì)美觀大方,適合優(yōu)良實(shí)驗(yàn)室的顏色搭配。4.工作室內(nèi)的擱架不可調(diào)節(jié)。試驗(yàn)箱如何發(fā)揮重要作用?合肥真萍告訴您。做試驗(yàn)箱怎么樣
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下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術(shù)指標(biāo)。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;5.控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級(jí);9.抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)銷售試驗(yàn)箱安裝廠家
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