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來源: 發布時間:2021-11-20

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下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術指標。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環風冷降溫;5.控溫穩定度:2℃,具有PID參數自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級;9.抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)四川大試驗箱試驗箱的特點是什么?合肥真萍告訴您。

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真萍科技電腦式潔凈節能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節能氮氣柜的氮氣監控系統。1.溫濕度記錄功能:1.2內建內存,可儲存溫度/濕度,收集時間1~240分鐘可自行設定。1.3可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。1.4品管記錄格式設計,有助于內部記錄追蹤并可支持數據庫檔案格式。2.濕度警報系統:2.1可設定啟動警報的濕度值及條件,內配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。2.2可另外選配積層式警示燈。3.溫濕度偏移校正功能:內建校正功能,確保顯示準確度。合肥真萍告訴您如何正確使用試驗箱?

本篇介紹專業全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。試驗箱對如今市場的影響。高低溫試驗箱供應商家

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