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江蘇哪里有工業(yè)烤箱

來源: 發(fā)布時間:2021-11-29

真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1、后門設(shè)計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術(shù)指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱如何去使用呢?江蘇哪里有工業(yè)烤箱

工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,在送風機的作用下由進風口送冷風(即外界空氣),經(jīng)風路系統(tǒng)流入到送風機環(huán)節(jié),送風機再把冷空氣經(jīng)風輪、蝸殼、等分風系統(tǒng)送風到正在加熱的電熱器上,出來的便是熱風。熱風經(jīng)過風路系統(tǒng)進入到工業(yè)烤箱內(nèi)箱體進而形成各路風路,進行水平或垂直等送風到各個角落,從而使各位置點的溫度達到一致,繼而不斷的在工業(yè)烤箱內(nèi)進行熱風的交替循環(huán),把物體加熱固化。通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式,熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。立式工業(yè)烤箱非標定制合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的應(yīng)用范圍。

工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性,在工業(yè)烤箱開關(guān)箱門運送物料的過程中,溫度值會受到影響發(fā)生變動,熱風循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內(nèi)恢復工作狀態(tài)的溫度值。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。

HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱的重要性。

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