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來源: 發布時間:2023-08-13

下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設計。一、產品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1.后門設計熱風電機2.降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的氣氛爐如何選擇?合肥真萍科技告訴您。常州氣氛爐供應商家

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術指標。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉為HMDS氣態時更易。2.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能)3.溫度與PLC聯動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發出警報)4.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)泉州氣氛爐生產廠商合肥真萍科技建材為您提供專業的氣氛爐定制服務。

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態)6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規降溫)。

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產品的高溫燒結、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統配置。一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調節2.排氣系統在爐膛頂部設置一個排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經過水封清洗后進入大氣中,減少對環境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態氧含量≤50ppm+氣源氧含量合肥真萍科技為您提供氣氛爐的詳細介紹。

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密封性為了控制爐內的氣氛,維持爐內的壓力,爐內工作空間始終要與外界空氣隔絕,盡量避免漏氣和吸入空氣,故要求爐殼,砌體,爐門及所有外界連接零件如風扇,熱電偶,輻射管,推拉料機等采用密封裝置;加熱方法為了保證氣氛的穩定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內進行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環爐內氣氛的穩定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達到一定混合比,在一定溫度下易引起,故對爐子的前,后室,淬火室以及緩冷室等均設有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統也要有防爆措施。合肥真萍科技氣氛爐價格更優惠。泉州氣氛爐生產廠商

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電熱鼓風烤箱適用于各種產品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機械、食品、化工、化學品、五金工具等在恒溫環境條件下做干燥和各種恒溫適應性試驗。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風烤箱的箱體結構。1.工作室與外箱之間的保溫材質是質量超細玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,國內高性能的絕緣結構。從內到外有內腔、外殼、超細玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內膽熱量損失少。內膽外箱及門膽結構獨特,極大減少了內腔熱量的外傳。2.門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結構,密封、耐高溫性、抗老化性好。3.箱內風道采用雙循環系統,不銹鋼多翼式離心風輪及循環風道組成,置于箱體背部的電加熱器熱量通過側面風道向前排出,經過干燥物后再被背部的離心風輪吸入,形成合理的風道,能使熱氣充分對流,使箱內溫度相當大限度達到均勻。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。4.加熱器用不銹鋼電加熱管,升溫快,壽命長。常州氣氛爐供應商家

合肥真萍電子科技有限公司是一家生產型類企業,積極探索行業發展,努力實現產品創新。是一家有限責任公司企業,隨著市場的發展和生產的需求,與多家企業合作研究,在原有產品的基礎上經過不斷改進,追求新型,在強化內部管理,完善結構調整的同時,良好的質量、合理的價格、完善的服務,在業界受到寬泛好評。公司始終堅持客戶需求優先的原則,致力于提供高質量的潔凈箱,干燥箱,高溫無氧烤箱,隧道爐。真萍電子自成立以來,一直堅持走正規化、專業化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。

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