由于EUV光刻膠膜較薄，通常小于100nm，對于精細的線條，甚至不足50nm，因此光刻膠頂部與底部的光強差異便顯得不那么重要了。而很長一段時間以來，限制EUV光刻膠發展的都是光源功率太低，因此研發人員開始反過來選用對EUV光吸收更強的元素來構建光刻膠主體材料。于是，一系列含有金屬的EUV光刻膠得到了發展，其中含金屬納米顆粒光刻膠是其中的典型。2010年，Ober課題組和Giannelis課題組首度報道了基于HfO2的金屬納米顆粒光刻膠，并研究了其作為193nm光刻膠和電子束光刻膠的可能性。隨后，他們將這一體系用于EUV光刻，并將氧化物種類拓寬至ZrO2。他們以異丙醇鉿（或鋯）和甲基丙烯酸（MAA）為原料，通過溶膠-凝膠法制備了穩定的粒徑在2~3nm的核-殼結構納米顆粒。納米顆粒以HfO2或ZrO2為核，具有很高的抗刻蝕性和對EUV光的吸收能力；而有機酸殼層不但是光刻膠曝光前后溶解度改變的關鍵，還能使納米顆粒穩定地分散于溶劑之中，確保光刻膠的成膜性。ZrO2-MAA納米材料加入自由基引發劑后可實現負性光刻，在4.2mJ·cm?2的劑量下獲得22nm寬的線條；而加入光致產酸劑曝光并后烘，利用TMAH顯影則可實現正性光刻。按顯示效果分類：光刻膠可分為正性光刻膠和負性光刻膠。嘉定LCD觸摸屏用光刻膠顯示面板材料

目前使用的ZEP光刻膠即采用了前一種策略。日本瑞翁公司開發的ZEP光刻膠起初用于電子束光刻，常用的商用品種ZEP520A為α-氯丙烯酸甲酯和α-甲基苯乙烯的1∶1共聚物。氯原子的引入可提高靈敏度，此外苯乙烯部分也可提高抗刻蝕性和玻璃化轉變溫度。采用后一種策略時，常用的高分子主鏈有聚碳酸酯和聚砜。2010年，美國紐約州立大學的課題組報道了一系列以聚碳酸酯高分子為主體材料的光刻膠，高分子主鏈中具有二級或三級烯丙酯結構可在酸催化下裂解形成雙鍵和羧酸。此外，他們還在高分子中引入了芳香基團，以增強其抗刻蝕性。可獲得36nm線寬、占空比為1∶1的線條，22.5mJ·cm?2的劑量下可獲得線寬為26nm的線條。上海KrF光刻膠集成電路材料光刻膠行業日系企業實力雄厚，國內廠商有望復刻成功經驗。

2018年，相關研究課題小組報道了一系列含有第VIII族元素的六配位型的配合物，配體為聯吡啶或草酸。他們研究了聯吡啶數量和草酸根數量的多少對光刻膠靈敏度的影響情況。其中含有兩個草酸配體、一個聯吡啶配體結構的材料具有較高的靈敏度，也可獲得分辨率較高的光刻線條。其他配體結構的靈敏度都不如以上配體結構的靈敏度高。EUV光導致草酸根部分分解后，會發生分子間的交聯反應。配合物靈敏度與中心金屬原子相關，順序為Cr<Fe<Co，剛好與其對EUV光的吸收能力一致。

EUV光刻膠的基本原理與所有使用其他波長光曝光的光刻膠是相同的，都是在光照后發生光化學反應及熱化學反應，主體材料結構改變導致光刻膠溶解度轉變，從而可以被部分顯影。但與其他波長曝光的光刻工藝相比，EUV光刻也有著諸多的不同。從化學反應機理來看，EUV光刻與前代光刻差異是，引發反應的，不僅有光子，還有由13.5nm軟X射線激發出的二次電子。EUV光刻用到的光子能量高達92eV，曝光過程中，幾乎所有的原子都能吸收EUV光子而發生電離，并產生高能量的二次電子（65~87eV）和空穴，二次電子可以繼續激發光敏劑，形成活性物種。目前，我國光刻膠自給率較低，生產也主要集中在中低端產品，國產替代的空間廣闊。

除了枝狀分子之外，環狀單分子樹脂近年來也得到了迅速發展。這些單分子樹脂的環狀結構降低了分子的柔性，從而通常具有較高的玻璃化轉變溫度和熱化學穩定性。由于構象較多，此類分子也難以結晶，往往具有很好的成膜性。起初將杯芳烴應用于光刻的是東京科技大學的Ueda課題組，2002年起，他們報道了具有間苯二酚結構的杯芳烴在365nm光刻中的應用。2007年，瑞士光源的Solak等利用對氯甲氧基杯芳烴獲得了線寬12.5nm、占空比1∶1的密集線條，但由于為非化學放大光刻膠，曝光機理為分子結構被破壞，靈敏度較差，為PMMA的1/5。半導體光刻膠的涂敷方法主要是旋轉涂膠法，具體可以分為靜態旋轉法和動態噴灑法。江浙滬光分解型光刻膠顯示面板材料

光刻膠是一大類具有光敏化學作用的高分子聚合物材料，是轉移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介。嘉定LCD觸摸屏用光刻膠顯示面板材料

更高的分辨率和抗刻蝕性，合適的靈敏度，更低的粗糙度，依然是研發人員需要繼續努力的目標。隨著3nm乃至2nm技術節點已經進入半導體工業發展的日程表，實現相應線寬的光刻技術和光刻膠也應該早日成熟。臺積電在5nm制程中已經用到了多達14層的EUV光刻，3nm制程對EUV光刻的需求量顯然只會更多，要求也只會更高。此外，EUV光刻過程中也有許多機理問題尚需進一步明確，尤其是起步較晚的有機-無機雜化光刻膠，現有光刻機理報道之間常常見到矛盾的論述。嘉定LCD觸摸屏用光刻膠顯示面板材料