劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區(qū)域的時間,也就是決定了在某一區(qū)域內(nèi)輸入的劃片功率,因此會直接影響劃片深度和劃片寬度。值得一提的是,激光光斑對劃片槽區(qū)域硅材料切割線可以看成是一個又一個光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當?shù)乃俣瓤梢缘玫街旅堋⒕鶆虻那懈詈圹E,速度太快或頻率不足則相鄰兩個切割微圓的圓心較遠,芯片切割邊緣呈巨齒狀,切割質(zhì)量下降。所以,劃片功率、頻率、速度等參數(shù)共同影響了劃片寬度、劃片深度、劃片質(zhì)量等劃片的關(guān)鍵指標。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備汽車行業(yè)解決方案?智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制
主要性能參數(shù)產(chǎn)品型號CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺參數(shù)平臺形式XY直線電機基座高精度大理石平臺加工范圍400×400 mm(可定制)定位精度±3 um重復(fù)定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業(yè)相機600W鏡頭遠心鏡頭系統(tǒng)屬性支持文件格式DXF等常規(guī)CAD格式環(huán)境要求溫度:20-30℃,濕度:<60%電力需求380V/50Hz/10KVA福建銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案無錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的價格分析。
晶圓激光切割與傳統(tǒng)的機械切割法相比,這種新的方法有幾個重要的優(yōu)點。首先,這是一步即可完成的、干燥的加工過程。邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨。并且,激光引致的分離過程產(chǎn)生**度、自然回火的邊緣,沒有微小裂痕。使用這種方法,避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破,降低了次品率,提高了產(chǎn)量。因為裂痕是**地沿著激光光束所劃出的痕跡,激光引致的分離可以切劃出非常**的曲線圖案。我們所做的實驗也證明了無論直線或是曲線,激光切割都能連續(xù)地、**地完成設(shè)定圖案,重復(fù)性可達+50μm。所以激光可以進行曲線圖形的**切割。激光切割晶圓有速度快、精度高,定位準確等明顯優(yōu)勢。
硅作為第三代半導(dǎo)體材料,一直受到業(yè)界追捧,可材料始終是材料,就好比礦,沒有復(fù)雜的工藝處理,他就是一堆石頭,那半導(dǎo)體材料這樣偏精細的物質(zhì),那自然得有一套成熟的工藝,那首要的就是晶圓的加工。我們常用的半導(dǎo)體材料精細,成本高,而且刀片劃片容易產(chǎn)生圓晶破損和刀具損壞,刀具還要頻繁的更換,后期運行成本高。激光劃片屬于無接觸式加工,對圓晶損傷小,聚焦的優(yōu)點更是在晶圓的微處理上更具優(yōu)越性等更適用于圓晶劃片處理。無錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的特點分析。
晶圓切割是封裝過程中十分關(guān)鍵的一步,因為在此過程中容易產(chǎn)生大的機械損傷導(dǎo)致嚴重的可靠性問題,甚至是芯片的損壞。晶圓的切割方式有多種,**傳統(tǒng)的切割方式為刀片切割,這也是至今使用*****的一種方式。金剛石劃片刀切割晶圓有多重因素會對切割質(zhì)量造成影響,包括材料,切割儀器,工作環(huán)境,切割方法以及其他人為因素等。而現(xiàn)在采用激光切割是相對傳統(tǒng)切割更快,質(zhì)量更高的開工方式。超通智能自主研發(fā)的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備可以幫助企業(yè)**提升加工效率,增加產(chǎn)品的加工質(zhì)量。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備有什么特點?無錫超通智能告訴您。智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制
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我國機械制造業(yè)受到經(jīng)濟形勢發(fā)展的影響,對我國機械業(yè)智能設(shè)備制造技術(shù)、激光加工技術(shù)的研究、開發(fā)、技術(shù)服務(wù);科技企業(yè)的孵化;科技成果轉(zhuǎn)化和推廣;機械工程研究服務(wù);工程和技術(shù)基礎(chǔ)科學研究服務(wù);電子、通信與自動控制技術(shù)研究服務(wù),計算機科學技術(shù)研究服務(wù);信息系統(tǒng)集成服務(wù);信息技術(shù)咨詢服務(wù);互聯(lián)網(wǎng)信息服務(wù);激光精密加工設(shè)備、機器人與自動化裝備的銷售;面向成年人開展的培訓服務(wù)(不含國家統(tǒng)一認可的職業(yè)證書類培訓);以服務(wù)外包方式從事激光精密加工設(shè)備、機器人與自動化裝備的制造、加工。(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動) 一般項目:軟件開發(fā);軟件銷售(除依法須經(jīng)批準的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)企業(yè)提出了新的課題:調(diào)整發(fā)展思路,調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),提高產(chǎn)品技術(shù)含量、提高產(chǎn)品附加值,走轉(zhuǎn)型升級的可持續(xù)發(fā)展之路。作為我國國民經(jīng)濟的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè),機械及行業(yè)設(shè)備業(yè)仍然是我國經(jīng)濟增長的主要支撐;作為經(jīng)濟社會發(fā)展的重要依托,機械及行業(yè)設(shè)備業(yè)是我國城鎮(zhèn)就業(yè)的主要渠道和國際競爭力的集中體現(xiàn)。不少企業(yè)家認為,目前銷售的簡單機器換人并非智能制造,真正意義上的智能制造是以大數(shù)據(jù)精確計算與判斷代替人腦決策,而像機器換人這樣的投錢對于紡織業(yè)究竟是否劃算值得商榷。機械及行業(yè)設(shè)備業(yè)隨著經(jīng)濟的飛速發(fā)展,我國的機械制造行業(yè)發(fā)展很快,制造水平有了明顯提升,并且也由單純關(guān)注產(chǎn)品質(zhì)量轉(zhuǎn)變?yōu)樵谥匾曎|(zhì)量的基礎(chǔ)上關(guān)注產(chǎn)品技術(shù)創(chuàng)新。智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制
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