近年來光電產業的快速發展,高集成度和高性能的半導體晶圓需求不斷增長,硅、碳化硅、藍寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應用于半導體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統的很多加工方式已經不再適用,于是在部分工序引入了激光隱形切割技術。半導體晶圓的激光隱形切割技術是一種全新的激光切割工藝,具有切割速度快、切割不產生粉塵、無切割基材耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優勢。隱切切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質層,然后通過外部施加壓力使芯片分開。無錫超快激光玻璃晶圓切割設備的詳細介紹。重慶品質超快激光玻璃晶圓切割設備
超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備配備NCS、刀痕、崩邊及切割道位置檢測功能,還有數據管理、報警記錄和日志管理功能,極大提高了生產效率。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理。超通智能的優勢在于一些新產品的前期應用場景,比如第三代材料,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,幾乎全部使用激光進行切割。”超通智能將晶圓切割作為切入口,希望今后業務可以覆蓋封裝產品激光類的全部應用,向激光晶圓制造環節上探,提供更***和質量的服務。江西國產超快激光玻璃晶圓切割設備訂制價格超快激光玻璃晶圓切割設備的品牌哪個好?無錫超通智能告訴您。
晶圓是半導體產品與芯片的基礎材料,晶圓生長后需要經過機械拋光,后期尤為重要的是晶圓切割加工,也叫晶圓劃片。早期短脈沖DPSS激光器切割晶圓技術已經在歐洲、美國發展成熟。隨著超快激光器的快速發展和功率提升,超快激光切割晶圓未來將會逐漸成為主流,特別在晶圓切割、微鉆孔、封測等工序上,設備需求潛力較大。目前國內已經有精密激光設備廠家能夠提供晶圓開槽設備,可應用于28nm制程以下12寸晶圓的表面開槽,以及激光晶圓隱切設備應用于MEMS傳感器芯片,存儲芯片等**芯片制造領域。
設備介紹超快激光玻璃晶圓切割設備,配備好品質皮秒激光器,通過超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圓內部產生非線性自聚焦效應,達到激光成絲切割的效果。該設備還可應用于各類透明脆性材料的快速劃線、切割。二、設備特點?高性能皮秒激光器具有超高峰值功率、高光束質量和穩定性、超窄脈寬,聚焦光斑極小,*2-3μm,采用全新的貝塞爾激光成絲技術,可實現3mm玻璃晶圓一刀切;?采用高精密直線電機和全閉環光柵檢測控制系統,加工臺面可達400×400mm,保證穩定高效生產;?配備高像素視覺定位系統,可抓取各類Mark點及輪廓,實現高精度圖像定位加工;?采用天然大理石的機床基座、高剛性結構設計以及減震機床腳杯,很大程度減輕加速過程中產生的慣性震動,并可有效防止環境溫度變化引起的床身精度變化。無錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設備質量可靠嗎?
激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。如圖1所示,激光隱形切割是通過將脈沖激光的單個脈沖通過光學整形,讓其透過材料表面在材料內部聚焦,在焦點區域能量密度較高,形成多光子吸收非線性吸收效應,使得材料改性形成裂紋。每一個激光脈沖等距作用,形成等距的損傷即可在材料內部形成一個改質層。在改質層位置材料的分子鍵被破壞,材料的連接變的脆弱而易于分開。切割完成后通過拉伸承載膜的方式,將產品充分分開,并使得芯片與芯片之間產生間隙。這樣的加工方式避免了機械的直接接觸和純水的沖洗造成的破壞。目前激光隱形切割技術可應用于藍寶石/玻璃/硅以及多種化合物半導體晶圓。歡迎致電無錫超通智能咨詢超快激光玻璃晶圓切割設備。河北國產超快激光玻璃晶圓切割設備解決方案
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與傳統的切割方式相比,隨著激光技術的成熟,使用激光對硅晶圓進行高效質量切割已成為質量選擇。激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對晶體硅表面造成損傷,解決了金剛石鋸片引入外力對產品內外部的沖擊破壞問題,還免去了更換刀具和模具帶來的長期成本。隨著“工業4.0”和“中國制造2025”的***鋪開,**智能制造越來越離不開高性能激光器的加持。在這樣的宏觀背景下,為超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備這樣的產品提供了廣闊的舞臺,也將隨著其在各行各業的應用而被認可。重慶品質超快激光玻璃晶圓切割設備
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