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激光功率是影響劃片深度和劃片寬度的主要因素,在其他參數(shù)固定不變時(shí),劃片寬度和劃片深度隨著激光功率的增加而增大,這是因?yàn)椋贤饧す怆m然屬于“冷切割”,但還是存在一定的熱效應(yīng),熱量會(huì)積累在切割處。當(dāng)激光功率一定時(shí),晶圓受到照射的時(shí)間越長(zhǎng),獲得的能量就越多,燒蝕現(xiàn)象就越嚴(yán)重。頻率會(huì)影響激光脈沖的峰值功率和平均功率,從而對(duì)劃片深度、劃片寬度和劃片質(zhì)量均產(chǎn)生影響。增大頻率,脈沖峰值功率會(huì)下降,但整體平均功率會(huì)上升,這相當(dāng)于在劃片過(guò)程中提供了更高的能量,又避免了激光功率持續(xù)輸出產(chǎn)生的熱效應(yīng)累積,給熱量的耗散預(yù)留了空間。無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備質(zhì)量保證。遼寧銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備產(chǎn)品介紹
晶圓精密劃片切割中,總會(huì)遇到各種情況,而**常見(jiàn)的就是工件的崩邊問(wèn)題,崩邊包括:正崩,背崩,掉角及裂痕等。而有很多種不同因素都會(huì)導(dǎo)致崩邊的產(chǎn)生,比如工件表面情況、粘膜情況、冷卻水、刀片等。如何提高切割品質(zhì),盡可能減少崩邊產(chǎn)生對(duì)劃片機(jī)來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的,超通智能針對(duì)這一行業(yè)狀況,也一直在不斷的摸索各種激光切割工藝,以提高切割品質(zhì)并為客戶提供質(zhì)量服務(wù)為己任。超通智能通過(guò)不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,提高劃片機(jī)切割不同材質(zhì)的效率。晶圓精密劃片切割已有比較完善的解決方案。江蘇銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備訂制價(jià)格無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)。
硅材料對(duì)紅外透過(guò)率很高,所以硅的隱形切割設(shè)備,通過(guò)選用短脈沖紅外激光器,將激光脈沖聚焦到硅襯底內(nèi)部,實(shí)現(xiàn)隱形切割。激光隱形切割是非接觸式切割,解決了砂輪切割引入外力沖擊對(duì)產(chǎn)品破壞的問(wèn)題。不過(guò)一般設(shè)備的激光隱形切割形成的改質(zhì)層區(qū)域會(huì)使材料變得酥脆,還是會(huì)形成少量細(xì)小硅碎屑掉落,雖然碎屑數(shù)量遠(yuǎn)少于砂輪切割,如前文所述,MEMS晶圓因?yàn)闊o(wú)法通過(guò)清洗的方法去除細(xì)小硅碎屑,故這些碎屑將對(duì)芯片造成破壞,影響良率。超通智能生產(chǎn)的硅晶圓激光切割設(shè)備,選用自制的紅外激光器和自主開(kāi)發(fā)的激光加工系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)硅晶圓的隱形切割,該設(shè)備能夠很好的控制隱形切割后碎屑的產(chǎn)生,從而滿足***MEMS晶圓切割的要求,保證切割良率
由于以往我國(guó)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)薄弱,激光加工芯片的研究和應(yīng)用偏少,而是首先在下游消費(fèi)電子產(chǎn)品終端組裝得到了一些應(yīng)用。未來(lái)我國(guó)的精密激光加工主要市場(chǎng)將會(huì)從一般電子零部件加工逐漸往上游材料和**元件移動(dòng),尤其是半導(dǎo)體材料、生物醫(yī)療、高分子聚合物材料等制備。半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的激光應(yīng)用工藝將會(huì)越來(lái)越多被發(fā)明出來(lái),對(duì)于高精密的芯片產(chǎn)品,非接觸的光加工是**合適的方式。憑著龐大的需求量,芯片產(chǎn)業(yè)極有可能將會(huì)托起下一輪精密激光加工設(shè)備的需求熱潮。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的制作步驟詳解。
由于碳化硅自然界中擁有多態(tài)(Polymorphs),例如3C-SiC,4H-SiC,6H-SiC等,其中六方晶系的碳化硅理論上有無(wú)數(shù)種多態(tài)可能性。目前行業(yè)內(nèi)選用的碳化硅多態(tài)為4H-SiC。為了獲得想要的低缺陷4H-SiC,SiC晶圓通常需要以4°偏軸在種子晶格上進(jìn)行晶錠生長(zhǎng)。因此,在切割垂直晶圓平邊的方向時(shí),裂紋會(huì)與C面軸向[0001]產(chǎn)生4°偏角。使用普通激光切割設(shè)備進(jìn)行切割時(shí),4°的偏角會(huì)使材料裂開(kāi)變得困難,從而使得**終該方向產(chǎn)生嚴(yán)重崩邊(chipping)和切割痕跡蜿蜒(meandering)。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的應(yīng)用范圍十分廣闊。江蘇加工超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備哪家強(qiáng)
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晶圓切割是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序,在晶圓制造中屬后道工序。將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片,稱之為晶圓劃片。激光作為新型的加工方式之一,屬于無(wú)接觸式加工,不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到亞微米數(shù)量級(jí),從而對(duì)晶圓的微處理更具優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。遼寧銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備產(chǎn)品介紹
無(wú)錫超通智能制造技術(shù)研究院有限公司是以提供激光標(biāo)機(jī)及極限制造裝備,細(xì)分領(lǐng)域的制造產(chǎn)線垂直整,面向裝備的工業(yè)軟件,面向產(chǎn)線的管控軟件內(nèi)的多項(xiàng)綜合服務(wù),為消費(fèi)者多方位提供激光標(biāo)機(jī)及極限制造裝備,細(xì)分領(lǐng)域的制造產(chǎn)線垂直整,面向裝備的工業(yè)軟件,面向產(chǎn)線的管控軟件,公司成立于2019-03-15,旗下超通智能,已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。公司主要提供智能設(shè)備制造技術(shù)、激光加工技術(shù)的研究、開(kāi)發(fā)、技術(shù)服務(wù);科技企業(yè)的孵化;科技成果轉(zhuǎn)化和推廣;機(jī)械工程研究服務(wù);工程和技術(shù)基礎(chǔ)科學(xué)研究服務(wù);電子、通信與自動(dòng)控制技術(shù)研究服務(wù),計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)研究服務(wù);信息系統(tǒng)集成服務(wù);信息技術(shù)咨詢服務(wù);互聯(lián)網(wǎng)信息服務(wù);激光精密加工設(shè)備、機(jī)器人與自動(dòng)化裝備的銷售;面向成年人開(kāi)展的培訓(xùn)服務(wù)(不含國(guó)家統(tǒng)一認(rèn)可的職業(yè)證書類培訓(xùn));以服務(wù)外包方式從事激光精密加工設(shè)備、機(jī)器人與自動(dòng)化裝備的制造、加工。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)) 一般項(xiàng)目:軟件開(kāi)發(fā);軟件銷售(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))等領(lǐng)域內(nèi)的業(yè)務(wù),產(chǎn)品滿意,服務(wù)可高,能夠滿足多方位人群或公司的需要。多年來(lái),已經(jīng)為我國(guó)機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)等的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。