主要性能參數產品型號CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺參數平臺形式XY直線電機基座高精度大理石平臺加工范圍400×400 mm(可定制)定位精度±3 um重復定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業相機600W鏡頭遠心鏡頭系統屬性支持文件格式DXF等常規CAD格式環境要求溫度:20-30℃,濕度:<60%電力需求380V/50Hz/10KVA無錫超快激光玻璃晶圓切割設備的廠家優勢。浙江先進超快激光玻璃晶圓切割設備價錢
回顧這些年激光技術的發展,激光在大部件的金屬切割、焊接發展比較充分,然而精密激光制造的應用規模相對滯后,其中比較重要的原因是前者是粗加工,精密激光加工精度、定制化要求高,還有工藝開發難度大,周期長。目前激光精密加工主要圍繞消費電子展開,其中又以智能手機為主,這兩年的屏幕和OLED面板的激光切割也備受關注。未來十年,半導體材料將會成為我國**為重視發展的產業,帶動激光微加工大爆發的極有可能是半導體材料加工。激光微加工主要采用短脈沖或者超短脈沖激光器,也就是超快激光器。因此未來在人工智能、5G,和國家大力投資半導體材料國產化的趨勢下,激光精密加工必然有較大的需求,超快激光器的大批量應用是一個重要趨勢。湖北智能制造超快激光玻璃晶圓切割設備無錫超快激光玻璃晶圓切割設備的生產廠家。
芯片制造的工藝復雜、流程眾多,而晶圓切割就是半導體封測工藝中不可或缺的一道工序,晶圓切割就是將單一晶圓進行切割制作成一個個晶粒單元,但由于晶粒本身比較脆弱、相互之間距離小,并且切割時還需要注意晶粒不被污染、避免出現崩塌或者裂痕現象,因此晶圓切割對于技術和切割設備的要求都極高。在晶圓切割過程中,通常要用到的一項精密切割設備就是晶圓切割機,晶圓切割機可使安裝在主軸上的砥石高速旋轉,從而切斷硅晶圓。近幾年,隨著激光技術的發展,激光切割機逐漸成為了芯片制作領域的研究熱點。由于激光切割為非接觸式加工過程,其不僅切割精度高、效率高,而且可以避免對晶體硅表面造成損傷,大幅提升芯片生產制造的質量和效率。
相較于機械法,透過激光劃線及切割晶圓的方法仍處于發展階段。隨著晶圓直徑加大、激光器更為便宜且產能增長,其生產優勢也***提升。本文將探討激光切割晶圓的許多研究,包含使用具有各種波長范圍輻射[8,9]、不同脈沖寬度(飛秒、皮秒至納秒[10-13])與功率之激光。惟上述加工皆未將切割厚度200μm以上的晶圓列入考慮。已確知脈沖頻率愈高,切割速度愈快,為材料內部能量分布增加所致。然每一發脈沖燒蝕深度的增加會引發如熔化、裂紋、非晶化和殘余應力積累等熱影響。將晶圓分離為芯片時,這些熱影響導致芯片強度降低,損壞表層薄膜與敏感的電子器件。無錫超快激光玻璃晶圓切割設備的詳細介紹。
激光劃片在晶圓加工方面具備以下優勢:1.激光劃片采用的高光束質量的光纖激光器,對芯片的電性影響較小,可以提供更高的劃片成品率。2.激光劃片速度為150mm/s。劃片速度較**.激光可以切割厚度較薄的晶圓,可以勝任不同厚度的晶圓劃片。可以切割一些較復雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等。4.激光劃片不用去離子水,可24小時連續作業5.激光劃片具有更好的兼容性和通用性。超通智能在激光晶圓處理上就具備豐富的經驗,如刀輪切割設備,外觀尺寸小型化,占地面積小,切割行程**功率主軸,高速高精度電機,閉環運動控制,確保生產效率。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備誠信經營。河北制造超快激光玻璃晶圓切割設備服務電話
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硅作為第三代半導體材料,一直受到業界追捧,可材料始終是材料,就好比礦,沒有復雜的工藝處理,他就是一堆石頭,那半導體材料這樣偏精細的物質,那自然得有一套成熟的工藝,那首要的就是晶圓的加工。我們常用的半導體材料精細,成本高,而且刀片劃片容易產生圓晶破損和刀具損壞,刀具還要頻繁的更換,后期運行成本高。激光劃片屬于無接觸式加工,對圓晶損傷小,聚焦的優點更是在晶圓的微處理上更具優越性等更適用于圓晶劃片處理。浙江先進超快激光玻璃晶圓切割設備價錢
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