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山東自制超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

來源: 發布時間:2023-08-12

在激光切割晶圓過程中,從光斑直徑上來分析,光斑直徑是指光強降落到中心值的點所確定的范圍,這個范圍內包含了光束能量的86.5%。在理想情況下,直徑范圍內的激光可以實現切割。實際上,劃片寬度略大于光斑直徑。在劃片時,聚焦后的光斑直徑當然是越小越好,這樣劃片所需的劃片槽尺寸就會越小。相應方法就是減小焦距。但是,減小聚焦鏡焦距的代價就是焦深會縮短,使得劃片厚度減少。因此,焦距的確定需要綜合考慮劃片的厚度和劃片槽的寬度。超快激光玻璃晶圓切割設備的市場應用分析。山東自制超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

由于碳化硅自然界中擁有多態(Polymorphs),例如3C-SiC,4H-SiC,6H-SiC等,其中六方晶系的碳化硅理論上有無數種多態可能性。目前行業內選用的碳化硅多態為4H-SiC。為了獲得想要的低缺陷4H-SiC,SiC晶圓通常需要以4°偏軸在種子晶格上進行晶錠生長。因此,在切割垂直晶圓平邊的方向時,裂紋會與C面軸向[0001]產生4°偏角。使用普通激光切割設備進行切割時,4°的偏角會使材料裂開變得困難,從而使得**終該方向產生嚴重崩邊(chipping)和切割痕跡蜿蜒(meandering)。上海先進超快激光玻璃晶圓切割設備訂制價格超快激光玻璃晶圓切割設備去哪找?無錫超通智能告訴您。

激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。如圖1所示,激光隱形切割是通過將脈沖激光的單個脈沖通過光學整形,讓其透過材料表面在材料內部聚焦,在焦點區域能量密度較高,形成多光子吸收非線性吸收效應,使得材料改性形成裂紋。每一個激光脈沖等距作用,形成等距的損傷即可在材料內部形成一個改質層。在改質層位置材料的分子鍵被破壞,材料的連接變的脆弱而易于分開。切割完成后通過拉伸承載膜的方式,將產品充分分開,并使得芯片與芯片之間產生間隙。這樣的加工方式避免了機械的直接接觸和純水的沖洗造成的破壞。目前激光隱形切割技術可應用于藍寶石/玻璃/硅以及多種化合物半導體晶圓。

超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備配備NCS、刀痕、崩邊及切割道位置檢測功能,還有數據管理、報警記錄和日志管理功能,極大提高了生產效率。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理。超通智能的優勢在于一些新產品的前期應用場景,比如第三代材料,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,幾乎全部使用激光進行切割。”超通智能將晶圓切割作為切入口,希望今后業務可以覆蓋封裝產品激光類的全部應用,向激光晶圓制造環節上探,提供更***和質量的服務。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備汽車行業解決方案?

硅晶圓是一種極薄的片狀硅,它是由高純度、幾乎無缺陷的單晶硅棒經過切片制成。硅晶圓是制造集成電路的載板,在上面布滿晶粒,將晶粒切開后得到芯片,將芯片經過封裝測試,制成集成電路。其中,將晶粒切開得到單一芯片的過程,稱為晶圓切割。晶圓切割是半導體芯片制造工藝流程中不可或缺的關鍵工序之一,在晶圓制造中屬于后道工序。為了實現硅晶圓的比較大利用率,其表面布滿了高密度集成電路,對硅晶圓進行切割時,尤其需要考慮切口的寬度和質量,以充分保護硅板上的電路,同時兼顧加工效率。傳統切割方式主要是采用金剛石鋸片劃片切割,存在效率低,崩邊大,邊緣破碎物多、不平整等問題,而且機械應力的存在容易對晶體的內部和外部產生損傷,良品率低,影響加工效率。同時,還需要根據晶圓的厚度不同選擇不同的刀具,增加成本支出,因此傳統的切割方式已經不能滿足當前的加工需求。汽車加工行業解決方案找無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備。山東自制超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

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