甩干機的工作流程通常包括以下幾個步驟：晶圓放置：將清洗后的晶圓放置在旋轉盤上，并確保晶圓與旋轉盤之間的接觸良好。啟動旋轉：通過控制系統啟動旋轉軸，使旋轉盤和晶圓開始高速旋轉。旋轉速度通常根據晶圓的尺寸、形狀和干燥要求等因素進行調整。甩干過程：在旋轉過程中，晶圓表面的水分和化學溶液等會受到離心力的作用而被甩離晶圓表面。同時，排水系統會將被甩離的水分和化學溶液等迅速排出設備外部。停止旋轉：當達到預設的旋轉時間或干燥效果時，通過控制系統停止旋轉軸，使旋轉盤和晶圓停止旋轉。取出晶圓：在旋轉停止后，將晶圓從旋轉盤上取出，并進行后續的工藝處理其工作原理類似于洗衣機的甩干桶，但晶圓甩干機對轉速、穩定性等要求更高。四川離心甩干機設備

甩干機的工作原理主要基于物理學中的離心力原理。當晶圓被置于甩干機的旋轉軸上，并以高速旋轉時，晶圓及其表面附著的水分、化學溶液等會受到向外的離心力作用。這個離心力的大小與旋轉速度的平方成正比，與旋轉半徑成正比。因此，隨著旋轉速度的增加，離心力也會急劇增大。具體來說，晶圓甩干機的工作原理可以分為以下幾個步驟：裝載晶圓：將待處理的晶圓放入甩干機的夾具中，確保晶圓固定穩定。這一步驟至關重要，因為晶圓的穩定性和固定性直接影響到甩干效果。加速旋轉：啟動甩干機，晶圓開始高速旋轉。通常，旋轉速度可以達到數千轉每分鐘（RPM），甚至更高。旋轉速度的選擇取決于晶圓的尺寸、材料以及所需的干燥效果。甩干過程：在高速旋轉下，晶圓表面的液體由于離心力的作用被甩離晶圓表面，飛向甩干機的內壁。同時，排水系統會將被甩離的水分和化學溶液等迅速排出設備外部。這一步驟是晶圓甩干機的Core  function 功能所在，通過離心力實現晶圓表面的快速干燥。減速停止：甩干過程完成后，甩干機逐漸減速直至停止。然后取出干燥的晶圓，進行后續的工藝流程。北京SRD甩干機批發雙工位獨立驅動系統，避免單一電機故障影響整體運行。

隨著芯片制造工廠對生產效率和質量控制的要求越來越高，立式甩干機的自動化程度也備受關注。它需要具備高度自動化的上料、下料功能，能夠與芯片制造的前后工序設備實現無縫對接，例如通過機械手臂或自動化傳輸系統實現晶圓的自動進出料。在運行過程中，甩干機能夠根據預設的工藝參數自動啟動、停止、調整轉速、控制氣流和加熱等操作，并且可以自動監測設備的運行狀態，如溫度、壓力、液位等參數，一旦出現異常情況能夠及時報警并采取相應的保護措施。此外，自動化控制系統還應具備數據記錄和分析功能，能夠記錄每一次甩干操作的工藝參數、設備運行狀態和晶圓的質量數據等信息，便于后續的生產管理、質量追溯和工藝優化。

甩干機的干燥效果受到多種因素的影響，這些因素包括：旋轉速度：旋轉速度是影響晶圓甩干機干燥效果的關鍵因素之一。隨著旋轉速度的增加，離心力也會增大，從而加快晶圓表面的干燥速度。但是，過高的旋轉速度可能會導致晶圓表面的損傷或變形。因此，需要根據晶圓的尺寸和材料等因素進行合理的選擇。旋轉時間：旋轉時間也是影響晶圓甩干機干燥效果的重要因素之一。旋轉時間的長短取決于晶圓的尺寸、形狀和干燥要求等因素。過短的旋轉時間可能無法將晶圓表面的水分和化學溶液等完全甩離，而過長的旋轉時間則可能增加設備的能耗和磨損。晶圓尺寸和材料：晶圓的尺寸和材料也會影響晶圓甩干機的干燥效果。不同尺寸和材料的晶圓在旋轉過程中受到的離心力不同，因此需要根據具體情況進行調整和優化。排水系統性能：排水系統的性能對晶圓甩干機的干燥效果也有重要影響。一個高效的排水系統可以迅速將被甩離的水分和化學溶液等排出設備外部，從而加快干燥速度并提升干燥效果。加熱系統性能：加熱系統可以提供必要的熱量，使氮氣或其他惰性氣體更好地吸收晶圓表面的水分。如果加熱系統性能不佳或存在故障，則可能導致干燥效率降低或干燥效果不佳。雙層減震系統的雙腔甩干機有效降低高頻振動，保護地板。

在半導體制造的干燥環節，晶圓甩干機是關鍵設備。它基于離心力原理工作，將晶圓放入甩干機，高速旋轉產生的離心力使液體從晶圓表面脫離。甩干機的旋轉部件采用you zhi 材料，具備良好的剛性和穩定性，確保晶圓在高速旋轉時的安全性。驅動電機動力穩定且調速精確，能滿足不同工藝對轉速的要求。控制系統智能化，可實現自動化操作，操作人員可通過操作界面輕松設置甩干參數。在半導體制造過程中，清洗后的晶圓經甩干機處理，去除殘留液體，避免因液體殘留導致的雜質吸附、短路等問題，為后續光刻、蝕刻等工藝提供干燥、潔凈的晶圓，保障芯片制造的質量。在晶圓清洗工藝后，甩干機能夠快速將晶圓表面的清洗液甩干，為后續加工做好準備。福建硅片甩干機生產廠家

雙腔甩干機低耗水量設計，只需少量清水即可完成漂脫流程。四川離心甩干機設備

臥式甩干機基于離心力原理工作。當裝有晶圓的轉鼓開始高速旋轉時，晶圓表面殘留的液體（如清洗液、刻蝕液等）在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉鼓轉速和晶圓到旋轉中心的距離決定，根據公式2（其中是離心力，是液體質量，是角速度，是旋轉半徑），通過精確控制轉鼓轉速，可以產生足夠強大的離心力，使液體沿轉鼓切線方向甩出。在甩干過程中，除了離心力的直接作用，設備內部的通風系統也發揮關鍵作用。清潔、干燥的空氣被引入轉鼓內部，在晶圓表面形成氣流，加速液體的蒸發。同時，由于不同液體的揮發性不同，在離心力和氣流的共同作用下，揮發性較強的成分會更快地揮發，使晶圓表面達到高度干燥狀態。四川離心甩干機設備